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热丝化学气相沉积法制备优质微米
／亚微米级单晶金刚石的研究木
张韬1 沈彬1孙方宏1张志明2
(1上海交通大学机械与动力工程学院，上海200240)
(2上海交友钻石涂层有限公司，上海200240)
金刚石颗粒为籽晶，通过甩胶布晶的方法，在衬底上均匀分布晶种，并通过合理控制沉积工艺参
数，在衬底上形成晶形完好的单晶金刚石。在沉积2h后，可消除原HPHT：籽晶缺陷，沉积6h后．生
长出晶形良好的立方八面体金刚石颗粒(约4“m)；对于亚微米级单晶金刚石，可直接在衬底上进
行合成，通过调控沉积参数(如衬底预处理方法、偏压大小、沉积时间)对单晶金刚石的分布密度
和颗粒度进行控制。经过2h的沉积。最终获得0．7斗m的二十面体单晶金刚石。
关键宇热丝化学气相沉积法；微米级单晶金刚石；沉积参数
Fabrication
andcharacterizationof micro／submicro
highquality
diamondshot
crystal filamentCVD
single by
Tao‘，ShenBinl，Sun
Zhang Fanghon91，ZhangZhimin92
School diao
《l ofMechanicalEngineering,Shanghai
TongUniversity,
Shanghai200240,China)
Diamond
偿ShanghaiJiaoyou 200244China)
Coating，．Co．Ltd,Shanghai
Abstract：The micro／submicrodiamondswiththeeuhedraldiamondarefabricated
highquality faces
hotfilamentchemical micro
using vapor technique(HFCVD)．1nhe
deposition singlecrystaldiamonds(
l the
e onthediamondseedsin sizeofl with and
rtm)al pm
deposited synthesized
highpressurehigh
withdiamond
solution seedsare onsilicon
temperature(HPHT)．The
photoresist disperseduniformly
wafersa
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