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57 12008 1 Vol. 57, No. 1, January, 2008
10003290200857(01)046705 ACTA PHYSICA SINICA 2008 Chin. Phys. Soc.
AlGaNGaN HEMT *
魏 巍 林若兵 冯 倩 郝 跃
( , , 710071)
(2007 4 28; 2007 6 6 )
, AlGaNGaN HEMT . ,
; ,
, . ,
, , , . ,
, .
: AlGaNGaN HEMT, ,
PACC: 7280E, 7340Q
,
1引 言 .
,
AlGaNGaN 2DEG , .
AlGaNGaN :
. , AlGaNGaN . MOSFET HEMT
[ 1] [ 5]
HEMT 1130 mAmm , , .
f 107GHz, f 151 [ 6]
T max Adivaranhan FP
[ 2] , FP
GHz .AlGaNGaN HEMT
GaN FP ,
. AlGaNGaN HEMT FP . ,
, ,
, . , FP
, . ,
[ 7]
, GaN .
[ 3] FP AlGaNGaN HEMT
, , ;
[ 4] . ,
,
, .
, .
, . ( FP) ,
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, .
* ( 973) ( : 51327020301, 2002CB311904) .
Email: im osingwei@ sohu. com
468 57
2器件结构与工艺
AlGaNGaN MOCVD
. ( 0001) . 520
! 30nm GaN ,
1 m GaN , 8 nm
AlGaN 16 nm Si AlGaN
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