磷酸盐激光玻璃聚（CH3）2Si（OC2H5）2防潮膜.pdfVIP

维普资讯 第 25卷 第 11期 光 学 学 报 VoI．25，No．11 2005年 11月 ACTA OPTICA SINICA November，2005 文章编号 ：0253—2239(2005)11-1577—4 磷酸盐激光玻璃聚(CH3)2Si(OC2H52防潮膜* 刘瑞军 李海元 唐永兴 朱健强 (中科院上海光学精密机械研究所高功率激光物理 国家实验室，上海 201800) 摘要： 以(CH。)：Si(OCH )z为前驱体，采用溶胶一凝胶与有机合成相结合的方法 ，制得稳定性 良好 的涂膜液。采 用旋转涂膜法在掺钕磷酸盐激光玻璃棒端面涂制防潮膜 ，膜层 固化后透过率达 96．5 ，获得的膜层表面粗糙度优 良，均方根表面粗糙度(RMs)为 1．659nm，平均粗糙度 (RA)平均为 1．321nm；在激光波长1053nm，脉冲宽度 1ns 条件下膜层 的激光破坏阈值可达 1O～14J／cm。。经过 “神光 Ⅱ”高功率激光器物理实验运行，膜层使用期为五年 ， 并且 已经在我 国 “神光Ⅲ”原型装置上试用。 关键词 ： 薄膜光学；溶胶一凝胶 ；有机硅 ；防潮膜 ；激光破坏阈值 中图分类号 ：0484．4 1 文献标识码 ：A M0isturepr00fFilm ofPolymeric(CH3)2Si(OC2H5)2onPhosphate LaserGlass LiuRuijun LiHaiyuan TangYongxing ZhuJianqiang (NationalLaboratoryofHighPowerLaserPhysics，ShanghaiInstituteof OpticsandFineMechanics， TheChineseAcademyofSciences，Shanghai201800) Abstract： (CH3)2Si(OC2H5)2asprecursor，asolofgood stability isprepared bysol—gelmethod and organic synthesization．Afterthesoliscoateditonphosphatelaserglassbyrotatingway，moistureprooffilm isworkedout， havingatransmittanceof96。5％ afterheated．Thefilm hasagoodmorphology，roughnessofmeansquare(RMS)of 1．659nm androughnessofaverage (RA)of1．321nm．Thedamagedthresholdofthemoistureprooffilm ishighto 1O～14J／cm ，testedbyalaserofwavelengthof1053nm andpulsewidthof1ns．Intheperiodof5yearson “Shenguang 1I”high power laserequipment。itbehaves good moistureproofperformance 。and tryoutson “ShenguangⅢ”model。 Keywords： thinfilmsoptics；sol—gel；organicsilicon；moistureprooffilm ；laser—damagedthresholdvalue 1 引 言 氢钾晶体 (KDP)表面制备防潮膜和减反膜口；法 国 与其他方法相 比，溶胶一凝胶 (sol—