脉冲偏压电弧离子镀大颗粒净化的理论与实验研究.pdf

壁鲨堡垦皇墼塞至堡奎矍垫堡垡塑墨笙兰壅墼堡圣 一——一 摘 要 本文改进和完善了脉冲偏压电弧离子镀的大颗粒净化的理论模型，系 统研究了脉?申偏压作用下的等离子体鞘层的物理特性和大颗粒在鞘层中 的充电、受力以及运动行为，从理论上给出脉冲偏压工艺对于大颗粒净化 效应的合理解释；对在不同工艺下制备的TiN薄膜样品进行了实验观测和 分析，得到薄膜的表面形貌和大颗粒的数量及尺寸分布情况，得到了与计 算预见相吻合的实验结果，为大颗粒净化的物理模型提供了佐证。 在脉冲偏压电弧离子镀技术的开发中，该模型保涯在不明显降坻沈积 效率的前提下，对得到洁净表面高质量薄膜的工艺优化，有重要指导作用。 具体完成了如下工作： (I)大颗粒净化模型的完善 对黄美东博士等建立的大颗粒净化模型进行了进一步的改进和完 善，对大颗粒在鞘层中的充电和受力进行了定量的计算，考虑了离子拖 拽力的影响。 (2)脉冲偏压鞘层的物理特性 压数据作为边界条件，计算得到在不同的脉冲偏压下鞘层中的电势分 布、鞘层厚度、鞘层中的电子、离子平均速度和离子密度。 (3)大颗粒在鞘层中的充电、受力和运动 利用鞘层中大颗粒表面的充电平衡条件，计算得出大颗粒表面电 势，进而得到大颗粒所带电量，并对大颗粒在鞘层中受到电场力、离子 拖拽力和重力等进行计算。 计算表明，大颗粒在脉冲偏压鞘层中始终带负电，但是电量随着 靠近基体而不断的减少；在大部分鞘层区域内，电场力大干离子拖拽力 脉冲偏压电弧离子镀大颗粒净化的理论与实验研究 和重力之和，故而可能使大颗粒不落到基体上。这是大颗粒能够被净化 的理论依据。 (4)试验结果 薄膜样品表面形貌，然后将得到的SEM图片输入Q5001w型图像分析 仪，对大颗粒的尺寸分布及面密度进行统计分析。 结果表明脉冲偏压对大颗粒有明显的净化作用，即薄膜表面比直流 偏压下大颗粒尺度和数量都少得多，其净化效果随不同的脉冲参数组合 有很大的差别，而且主要反映在小尺度颗粒的净化效果。偏压幅值越高， 占空比越大(在一定范围内)，净化效果越好。 (5)工艺实践 应用太颗粒净化的物理模型在正交实验基础上进行优化选择，得 到净化效果达54％的优化工艺，该工艺满足合成Ti／TiN纳米多层超硬 薄膜的要求。 ‘ 关键词： 脉冲偏压；电弧离子镀；大颗粒；等离子体鞘层：电场力 离子拖拽力；纳米多层膜 脉冲偏压电弧离子镀大颗粒净化的理论与实验研究 Abstract Inthis the academic modeof paper decontaminationof is and Mpsimproved characteristicof bias andmotion perfected．The pulsed of sheath，charge、forces Mps in sheatharcstudied of systemically．A logical explainerMps’decontamination under is