高精度标准镜支撑结构的研究与设计 Investigation and design for structure of high-precision reference mirror.pdfVIP

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2017-09-03 发布于湖北
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高精度标准镜支撑结构的研究与设计 Investigation and design for structure of high-precision reference mirror.pdf

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第卷第期年月 43 4 红外与激光工程 2014 4 Vol.43 No.4 Infrared and Laser Engineering Apr.2014 高精度标准镜支撑结构的研究与设计丁玲 1,2 ，王涛 1 ，杨洪波 1 ，贾宏光 1 ( 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033 ； 2 . 中国科学院大学，北京 100049) 摘要：为了保证高精度光学元件面形检测精度，必须对干涉仪标准镜自身的面形精度进行严格控制。在考虑标准镜自重的情况下，采用有限元方法研究了不同胶点数量及分布形式、不同的镜框支撑方式对参考面面形精度的影响。根据研究结果，针对球面标准镜面形精度要优于 λ/40 的要求，设计了口径准150 mm 的标准镜的支撑方式，采用 12×3 点胶接、镜框底面六点的挠性支撑方式，经有限元分析得到：参考面面形的 PV 值为 7.36 nm ，RMS 值为 1.52 nm ；并验证了温度变形较自重变形很小。结果表明，各项指标满足设计要求，证明了结构设计的合理性。关键词：标准镜；参考面；支撑结构；自重变形；有限元法中图分类号：TH703 文献标志码： A 文章编号： 1007-2276(2014)04- 1172-04 Investigation and design for structure of high-precision reference mirror 1,2 1 1 1 Ding Ling , Wang Tao , Yang Hongbo , Jia Hongguang ( 1. Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Science , Changchun 130033 , China ; 2 . University of Chinese Academy of Sciences, Beij ing 100049 , China) Abstract : In order to ensure the measuring precision of high accuracy optical, the accuracy of the interferometer reference mirror must be controlled strictly . The influences of different number of adhered points and point distribution , and different support schemes on the shapes of reference mirror were