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氧化铝微米树的制备及其形成机理研究/赵世华等 ·139 · 氧化铝微米树 的制备及其形成机理研 究 赵世华 ,麻焕锋 ,贾廷见 ,崔玉亭 ,朱治广 ,赵 青 ,蔡 娜 ,王玲玲2 (1 商丘师范学院物理与信息工程系,商丘 476000;2 湖南大学物理与微电子科学学院,长沙 410082) 摘要 以草酸为电解液,采用两次阳极氧化法,结合高温退火和酒精 中超声,制备 了氧化铝的微米树结构。该 微米树 由明显的树干和树枝组成。树干的平均宽度在 1“m左右,平均长度为 20~30~/m,而树枝的平均宽度为 1~ 2m,平均长度为 3~5m。微米树树干的形成并非沿单一方向生长,而呈明显的 “X”交叉型生长模式。最后讨论 了 氧化铝微米树的形成机理 。 关键词 阳极氧化 微米树 形成机理 中图分类号:TB34;0482.31 文献标识码 :A 、 StudyonPreparationofAlum inaM icron—treesandtheFormationM echanisms ZHAoShihua,MA Huanfeng,JIA Tingjian ,CUIYuting,ZHU Zhiguang ,ZHAoQing , CAINa ,W ANG Lingling (1 DepartmentofPhysicsandInformationEngineering,ShangqiuNomr alUniversity,Shangqiu476000; 2 InstituteofPhysicsandMicroelectronicsScience,HunanUniversity,Changsha410082) Abstract Throughthetwo—stepanodicoxidationinoxalicacidsolutionandcombinedwiththeprocessofhigh- temperatureannealingandtheultrasound inanhydrousethanol,thealuminamicron-treeswereprepared,whichin— volvetheobviousbolesandbranches.Theaveragewidth and lengthofthebolesareabout1a/m and2O——30txm ,re— spectively.Theaveragewidthandlengthofthebranchesare1~2/,m and3~ 5um,respectively,Moreover,there— suhsshowthatthefomr ationofmicrontreebolesisnotalongasingledirectionofgrowth,butalongdifferentdirec— tionsatthesametime,whichexhibitsaclear“X”crossover-typegrowthdirection.Theformationmechanismsofalu— minamicron-treeswereproposed. Keywords anodicoxide,micron-trees,formationmechanisms 近 1o年来 ,国内外有关纳米 ZnO的研究较多_1],所 以 生产,故是合成材料的重要方法。氧化铝微米树的研究是以 目前许多研究者都将 目光转 向了氧化铝材料。氧化铝是重 制备传统的氧化铝模板为基础而展开的。本实验详细描述 要的无机化合物钝化膜 ,被广泛用于石油化工、冶金化工、电 了在室温下制备氧化铝微米树的实验工艺,无需添加任何催 子器件等领域。氧化铝特殊 的物理化学性能与其材料形貌 化剂或沉淀剂 ,制备出微米树结构的氧化铝 。 有着非常紧密的联系,研究者都在试 图将氧化铝制备成其

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