取向碳纳米管膜的大面积制备及其.pdfVIP

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2017-09-02 发布于重庆
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取向碳纳米管膜的大面积制备及其.pdf

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( ) , 39 , 3 , 2003 5 Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Pekinensis, Vol. 39, No. 3 ( May, 2003) 取向碳纳米管膜的大面积制备及其 1) 场发射性能的研究 2) 葛颂冯孙齐俞大鹏 ( , , , 0087 ) 张广宇刘双 ( , , , 00080) , Ni Si , , FowlerNordheim E s ( ) , ( E E ) FN ( E E ) , s s d , Es d , ( ) ; ; FowlerNordheim ; O 4624 0 [ ] 99 , [ 2] [3] ( 033 nm) (mm ) , [ 4, 5] [ 6, 7] , [ 8, 9] , , , [ 0, ] 995 [ ~ 3] , , 2 - 5 ( ~ 3V/ m) ( ~ Acm ) , ( ~ 0 Pa) , Spindt, , 999 , 800 cdm2 [ 4] ; 200 [ 5] , , ) ( 6007 0 4) 2) Email: fengsq@ pku. edu. cn : : 342 ( ) 39 , 1 , , 2 Si ( 5 ! 2 cm ) 5~ 20 nm Ni ( ) Ni Si , 0Pa , 20sccm ( 3 ) , 27 ! 0 Pa, ( 700~ 750 ∀ ) , , 3 00 sccm 25 sccm, 27 ! 0 Pa min, Si 7 min , , AMRAY 9 0 (FESEM) , 2 kV , , - 4 2 4 ! 0 cm ; , , ! 0- 6 Pa, ( d) , 300 V 5 kV 2 , , ( FESEM) FE SEM : , ( a) , ; ( b) FESEM , , 20~