液晶显示器的缺陷检测.pdfVIP

[摘 要]为了提高液晶显 [关键词] 液晶显示；缺陷 1．引言 近年来，液晶显示技术的发 积玻璃基板上 以微米级的精度制作几十万到几百万个极微 免断路和短路在测试中相互影响彼此的测试结果，故短路测 小的TFT开关元件和几千条几微米宽的扫描线和信号线 ， 试和断路测试应分开。 其制作难度 已超过超大规模集成 电路 ，并且此 问题仅靠提 TFT阵列断路测试的原理示于图1。在图1中任一被检 高净室级别和制作工艺的 自动化程度是解决不了的。对 测电流环路均可等效为图2所示的导纳电路，其中导纳 Y TFrr—AMLCD屏的缺陷进行激光修补和采用冗余技术是提 可表示为：Y=Iout／Ein=G+j∽C fl1 高其成品率的重要手段，而要进行缺陷修补，首先得确定缺 式中G、C分别为被测环路的总电导和总电容。 陷的类型和精确位置，这就需要相应的缺陷检测技术。 2．液晶显示器的缺陷分析 I—丁’ Y捡一毫硫 一 丫 {．． 液晶显示器的缺陷主要包括来 自图像显示质量方面的 软性缺陷和来 自TFr阵列的硬性缺陷。在来 自TFT阵列的 _ ^^毡 ． R“ q q ：，r’’ =- 缺陷中，若按其成因可分为短路缺陷和断路缺陷；若按其显 ^^，1=] l l 一 I ≥ 示效果则可分为点缺陷和线缺陷。目前成品的一般定义为： 一 - 不能有线缺陷，允许有 2～3个点缺陷。液晶显示器的缺陷 是多种多样的，其产生的原因也各不相同，其中TFT阵列的 缺陷主要来 自镀膜工艺和光刻工艺。在上述缺陷中，有些通 过提高净室级别和工艺的 自动化程度 以及严格的工艺监 图 1 TFT阵列断路测试原理 控 、管理是可 以避免的，有些则可通过工艺方法的改进和工 艺参数的优化预 以避免，但对大量 的TFT阵列的短 ／断路 厅 缺陷则需利用冗余技术和修补来消除。不管采用何种方法 Y1 解决上述缺陷，首先必须要能够检测出这些缺 陷，这就需要 相应的缺陷检测设备和检测手段。 图2 任一被检测电流环路的等效导纳电路 3．液晶显示器的缺陷检测 TFT—LCD屏的缺陷检测主要有四个 目的。一是用于缺 图1中的直流偏压V 的正反向使TFT分别处于通断 陷的统计分析 ，找出常见的缺陷及其产生的原因，分析设 态，可分别检测出其通断态的输出电流 ，再 由(1)式求出： 计、制作 中的薄弱环节 ，以便优化结构设计和制作工艺；二 Y =G +j∽C (2) 是用于工艺的监控、管理，发现 问题所在 ，及时调整工艺参 Y硪=G +j c (3) 数 ，抑制缺陷的产生；三是淘汰不合格产品，以免不合格的 A C=C 一C (4) TFr—LCD屏被装上启动 电路，造成不必要的浪费，从而降低 若无缺陷，在任一根扫描线上加上正直流偏压Vdc时， 成本；四是用于缺陷修补。目前TFT—LCD制作工艺中与缺