微桥式温湿度传感器研究.pdfVIP

——一一．!里皇兰堂叁皇堕兰墨竺兰叁苎±垄鱼兰垒堡主叁 微桥式温湿度传感器研究+ 方震“1赵湛‘王奇㈧曾欢欢“2张博军1 (中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京 100080) (中国科学院研究生院 北京 1 00039)1 摘要：基于MEMS技术设计的温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点，集成传感器可提 高器件韵一致性，可靠性，易形成批生产能力。本文从理论上分析了热电原理测量空气湿度的可行性，引入 一个与湿度呈单调递减的关系函数，消除了外界温度对湿度测量的影响。设计和制作了微空气桥温浸传感器， 研究了导热检测湿度测量方法。文章重点对湿度部分的测量结果进行了分析，实验证实所设计温湿传感器具 有良好性能，相对湿度测量精度可远2％。 关键词： ME嬲温湿传感嚣徽空气桥导热检测法热电原理。 一、 引言 在测量科学中湿度和温度是很频繁被测量的物理量，对于温度的测量我们已经取得令人 满意的准确度，然而湿度的测量相对来说就显得复杂的多。水蒸气是空气中天然的成分，它 的测量在各种各样的实际测量占有很重要的位置。湿度传感器可采取不同的原理和工艺设计， 但是对湿度传感器设计都要符合以下的特性：测量湿度的范围较宽，测量精度高，响应时间 快，滞后现象少，使用寿命长，有自我抗外界污染的能力，并且要能在测量湿度时排除外界 温度的影响。而利用ME惦制造的各式湿度传感器易于实现上述要求。湿度测量的原理大概分 为电容式，屯龃式，吸湿式，重力式。还有其他的各种务样的原理…。本文介绍的是一种微 桥式温度和湿度传感器，利用热电原理测量湿度。“”和热敏原理测量电阻，是基于MEMs技术设 计和制造的一种微型传感器。 湿度和温度测量采用同一个微桥式铂屯阻结构，铀阻值为300欧姆左右。通过给铂电阻 加微安级电流测温度，测温范围宽，精度高。给微桥式电阻通10毫安电流加热，到达热平衡 时，微桥式电阻温度在350℃以上，此时电阻两端电压值和相对湿度呈线性单调递减关系。但 是这种方式测量湿度易受周围环境温度的影响，所以我们在此基础上提出函数 2，在这里七=R2／R。，y协)与湿度呈单调递减关系，这样可以消除温度对 ∥0)=％2一七K 湿度测量的影响。 二、正文 l温湿传感器原理说明 温度测量是利用铂电阻的阻值随温度变化而发生变化，其变化关系是 R，=Ro(1+口r+∥2+∥3+…)后面的高次项可以省去。口，口当温度在一定范围内的变 化，其值可以看成是固定不变的。当在电阻两端通微量电流时，可以通过测量两端的电压变 ‘国家自然科学基金课中国科学院微系统创新项目资助 中国电子学会电路与系统学会第十九届年会论文集 化测出电阻的值，而后就可以测量周围环境的温度。 湿度测量与气体的导热系数有关。对于含有n种气体组分的混合气体，导热系数可以用 Sutherland-Wassiljewa等式表示如下…： 九。：窆—下L 51 。 l+yAO(Xi／剪) ‘√ j=l，J≠i 公式中^。。是混合气体的导热率．2i是单一气体的导热率，m，巧是组分f，_，的分 子分数，4。是组分f，J的结合参数。山可以用￡，月撕批J钞修正式表示如下…： 尘旦 (2) 4，=i1 rⅣ¨¨卜 “一竹 Vi0八呜一蜂 ，jP一， 筹 丁+S． ，．。．