溶胶-凝胶法制备ZnO%3aAl导电薄膜的研究.pdfVIP

助 能 财 料 溶胶一凝胶法制备ZnO：Al导电薄膜的研究木 孙福来，谭红琳 (昆明理工大学材料与冶金学院，云南昆明650093) 摘要： 采用溶胶．凝胶工艺在普通载玻片上制备出c 剂)形成均相溶液，先制得溶胶，再使前驱体在溶液中 轴择优取向的znO：Al透明导电薄膜．利用扫描电镜 发生水解(或醇解)，水解产物缩合聚集成lIlm左右的溶 (sEM)、x射线衍射仪(Ⅺ①)等分析手段对薄膜进行了胶粒子，溶胶粒子进一步聚集生长形成凝胶。从溶胶或 表征．通过标准四探针法及紫外分光光度计(UVS)透射溶液出发都能得到凝胶，主要取决于胶粒间的相互作用 光谱研究了znO：Al薄膜的电学与光学性能．实验发现：力是否能够克服胶粒一溶剂间的相互作用力。 当A13+离子掺杂浓度为2％(原子分数)，前处理温度为 本实验以二水乙酸锌为前驱体，采用溶胶．凝胶法 220℃、退火温度为580℃时，薄膜具有较好的导电性， 制备ZAO透明导电薄膜，重点研究影响薄膜性能的几个 电阻率为1．76×lO‘3Q．cm，其在可见光的平均透射率在 因素，优化出本工艺条件下的最佳参数，并对薄膜进行 80％左右。 了性能分析和测定。 关键词： 溶胶一凝胶法；ZnO；A13+离子掺杂；透明导 2实验 电薄膜 中图分类号：T卜『304．2+5 文献标识码： A 2．1 zAO溶胶的制备 文章编号： 1001．973l(2007)增千q一0824—03 将一定量的二水乙酸锌溶于无水乙醇和乙二醇甲 醚混合溶剂中，与乙酸锌等摩尔的单乙醇胺为稳定剂， 1 引 言 冰醋酸作催化剂，添加的铝离子为结晶氯化铝，溶液浓 znO是一种重要的功能材料和II．Ⅵ族直接宽带半 导体材料，具有良好的机电耦合性能，室温时禁带宽度 室温，制得淡黄色透明的均匀溶胶。 2．2 3．37eV，激子束缚能为60meV。其在光电导、压电、光zAO薄膜的制备 波导、发光器件、激光器、透明导电薄膜、气敏传感等 将普通的载玻片用洗涤剂洗净，并依次在3mol，L的 领域有广泛的应用。要使半导体材料保持透光性，就要 求禁带宽度大于可见光频率；要保持半导体材料导电 的NaOH溶液中浸泡，去离子水洗涤，烘干，保存在无 性，就需要一定的载流子浓度。氧化物透明导电薄膜可 水乙醇中备用。 通过调整成分实现对带隙结构、载流子浓度和迁移率以 采用浸溃一提拉法制备ZAO薄膜。具体工艺为：将 及功函数等的控制来使其透光性和导电性相互统一。 处理好的载玻片置于溶胶溶液中10s，匀速提拉出来(提 ZAo透明导电薄膜与目前大量使用的rr0(Ino，Sn)薄膜 比较，生产成本低，资源丰富，无毒，稳定性好，且随 出，冷却到室温，再重复上述操作，直到达到所需的厚 着制膜掺杂工艺的不断发展，其性能正逐渐接近ITO。 度(本实验为l 载玻片，加热m，随炉冷却到室温，即可得到ZAo薄膜。 在二元系TCO中，掺杂氧化锌被认为是取代ITo的最佳 候选材料【2’45】。 2．3薄膜的分析和测试 ZAO透明导电薄膜的制备方法主要有：溅射法、脉 冲激光沉积法、化学气相沉积法、喷雾热分解法、超声 电镜考察薄膜的表面形貌，用日本理学公司的D，Inax 喷雾法、以及溶胶一凝胶法等。