混合熔盐离子交换玻璃光波导制备与特性研究.pdf

维普资讯 电 子 ·激 第 17卷 第 9期 2006年 9月 JournalofOptoelectronics·Laser Vo1．17No．9 Sep．2006 混合熔盐离子交换玻璃光波导的制备与特性研究* 韩秀友一 ，庞拂飞，初凤红，蔡海文 ，瞿荣辉，方祖捷 (中国科学院上海光学精密机械研 究所 信息光学实验室 ．上海 201800) 摘要 ：采用 AgNO 和 KNO 的混和熔盐作为离子源 ，系统地研究了K9玻璃离子交换过程中熔盐配 比、 交换时间和交换温度等]_艺参数对波导性能的影响，得到离子交换玻璃波导折射率分布符合高斯函数 形式 ，建立 了波导特性与离子交换工艺参数间的联系。测试得到离子交换平板波导 的传输损耗为 0．15 dB／cm，并利用离子交换技术在 K9玻璃上制备 了一种跑道形谐振腔滤波器 ，实现了滤波效应。 关键词 ：光波导 ；离子交换 ；棱镜耦合技术 ；反 WKB法 ；波导谐振腔 中图分类号 ：TN252 文献标识码 ：A 文章编号 2006 Characterization and Fabrication of Ion—exchanged Glass W aveguides with M ixedM eltSalt HAN Xiu—you ，PANG Fufei，CHU Feng—hong，CAIHai—wen，qu Rong—hui。 FANGZu一5ie (Lab．ofInformation Optics，ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechanics，ChineseAcademyofSci ences，Shanghai201800，China) Abstract：W iththe mixed meltsaltofAgNO3andKNO3used asthe ionsource，the influ— encesoftechnologicalparameters，includingmeltingsaltratio，exchangetimeandtemper- ature，onthecharacteristicsofthe ion—exchangedK 9glasswaveguide，were investigated systematically．The index profile ofthe waveguide wasfound to accord w ith the Gauss function，andtherelationshipbetweenthewaveguideperformanceandprocessparameters wasestablished．Thetransmission IOSSofthe ion—exchangedplanarwaveguidewasmeas— uredtobe0．45dB／cm．Aracetrackresonatorfilterwasfabricatedbyion-—exchangeinK9 glassand itsfiltereffectwasrealized． Keywords：opticalwaveguide；ion—exchange；prism couplingtechnique；inverseW KB method；waveguide resonator 子源在 K 9光学玻璃上制备光波导 的研究 已有报 目 道 。，对于采用 AgNO。作为离子源在 K 9玻璃上 光波导的离子交换技术制作_T艺简单 、易操作和 制备光波导的研究还未见到详细的报道。