齿轮表面渗碳层辉光光谱分析.pdfVIP

维普资讯 18 红 旗 技 术 2007年第 1期 齿轮表面渗碳层的辉光光谱分析 杨 黎 青 ，刘 红 斌 ，郭子静 (1西安航空发动机 (集团)有限公司冶金处，西安 710021 2西安航空发动机 (集团)有限公司 冲焊厂，西安 710021) 摘 要 利用辉光放电光谱仪对某发动机齿轮零件表面渗碳层进行分析。对测量通道高压及 谱 线进行了选择，考察了校准曲线及校准模式并建立了分析方法。用定碳仪、金相组织、显微 硬度梯度与碳浓度梯度结果的对比证明，该分析方法可行、结果可靠。 关键词 齿轮零件 辉光放电光谱仪 16CrNi4MoA渗碳层 光谱参数 光谱线 某发动机上的齿轮零件采用气体渗碳工艺， 1 仪器装置及工作参数 能够有效地改善表面的成分、组织和性能。这种 1．1 仪器装置 改变 由表 及 里逐渐 过 渡，渗碳 材料 选用 德国斯派克公司生产的GDA750型辉光放 16CrNi4MoA，渗层和基体结合牢固。评定渗碳 电光谱仪采用 Grimm光源，即平板阴极 ，在这种 层质量的好坏，通常是通过检验其组织性能，而渗 放电光源中，放电限制在用作阴极的试样上。仪 碳层的化学成分尤其是表面碳含量是其组织性能 器焦距为 750mm，全息光栅每毫米刻线数 2400 的决定因素，研究二者之间的变化规律对于优化 条，有效波长 ll9nm ～800rim，分 辨率好于 工艺、稳定渗层性能十分必要。该发动机上齿轮 0．024nm。由一台真空泵将光学室空气抽 出，保 零件渗碳工艺要求分析渗层表面碳含量的微观变 持真空，以便于对处于200nm以下c、S、P等的分 化，采用辉光放电光谱仪对 16CrNi4MoA渗碳层 析。冷却系统用于保证光学室温度恒定。一路氮 表面碳含量进行分析是研究课题的关键。辉光放 气作动力气，另一路高纯氩气作分析气体。放电 电通过阴极溅射技术能对经渗碳处理的试样表面 室采用无油真空分子泵，以避免碳氢化合物污染 连续逐层剥离，从而揭示出渗碳试样表层及一定 光学室。样品室采用 自动的绞刀进行清洁。 深度内的碳元素含量及其分布规律。通过对光谱 阳极直径：4．0ram 和 8．0ram 两种规格， 测量参数和光谱线选择，考察校准曲线及校准模 8．0mm阳极主要用于分析均匀性较差的铸铁试 式并建立了分析方法，完成了渗碳零件表面碳含 样，表面成分分析选择4．0mm的阳极有利于提高 量的微观分析。 溅射速率。 辉光放 电光谱仪的主要优点是 ：直接固体 1．2 工作参数 进样 ，基体效应低 ，低功率，稳定性好。辉光放 辉光放 电状态由电压、电流、气压这三个可测 电是在低压载气 (Ar)气氛中通过离子轰击产生 量的参数标明，这三个参数相互关联。一般采用 的阴极溅射效应从试样表面移出试样，氩离子 固定电流和电压。定量深度轮廓的工作参数选择 应考虑改善深度分辨和避免局部熔化两个方面。 轰击试样表面 的平均能量仅100eV，这样 采用SPECTRO公司推荐的深度轮廓分析最佳工 试样表面最外层原子被移出，试样的剥离是一层 作参数如下： 一 层的，分辨率可达一个原子层，深度可以细化到