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第29卷第3期 光 学 学 报 V01．29，No．3
2009年3月 ACTA0PTICASINICA March，2009
文章编号：0253—2239(2009)03一0811一07
空问光学元件超精密气囊抛光的去除特性研究
李洪玉1 张 伟1 于国或2
LLl7
oJD)
(1哈尔滨工业大学空间光学工程研究中心，黑龙江哈尔滨150001；2英国国家超精密光学表面实验室，UK
摘要为得到空间光学元件超光滑表面，对超精密气囊抛光方法的去除特性进行了理论和实验研究。以Preston
方程为基础，应用运动学原理建立了气囊抛光“进动”运动的材料去除模型，针对抛光气囊工具的物理特性，按照
Hertz接触理论对去除模型进行了修正；利用计算机仿真的方法，分析了几个主要工艺参数对“进动”抛光运动去除
特性的影响规律，并在超精密光学数控抛光机上进行了正交实验；仿真和实验结果吻合较好，总结得到4点气囊抛光
方法中重要的结论，给出了“进动”角与压缩量的取值范围。以此得到了面型精度RMS值为o．024|：I(A=O．6328弘m)
的超光滑表面，为开展光学元件气囊抛光工艺研究提供依据。
关键词空间光学；气囊抛光；去除特性；Preston方程}Hertz接触理论
中圈分类号 THl61：TQl71文献标识码 A doi：10．3788／AO0811
Characteristicsof Bonnet
Removing Ultraprecise
on Elements
PolishingSpatialOptics
Li WeilYu
HongyulZhang Guoyu2
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Nron尼仉hk8．LLl70。，D．UK
Theoretical researchon characteristicsof bonnet
Abstract andexperimental removing ultrapreci鸵 polishing
for Amaterial modeIofbonnet
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motionisestablishedtokinematicbasedonPreston modelis
polishingprocessional according principle equation．The
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