铒%2f镱共掺可溶性配合物光波导放大器的制备研究.pdfVIP

第六届全国塑料光纤、聚合物光子学会议论文集 中国·东莞2010年10月28日一11月1日 铒／镱共掺可溶性配合物光波导放大器的制备研究母 张琨，陈聪，李彤，刘天际，刘馨阳，张大明” (集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，130012) 摘要：本文介绍了铒／镱共掺可溶性配合物材料的合成过程，并对其薄膜的折射率进行表征；分析 铒／镱共掺可溶性配合物薄膜难以刻蚀的的原因，设计了倒脊型光波导结构：详细介绍了铒／镱共掺可 溶性配合物光波导放大器的工艺制备过程，制备出倒脊形波导，对波导形貌进行表征，在长度为1．2cm 的器件中测试得到较好的近场光斑以及2．22613(合1．85dB／cm)的相对增益。 关键词：铒／镱共掺配合物；倒脊形；光波导放大器 l引言 有机聚合物材料的光波导放大器与硅基光通信器件兼容性好，同时具备尺寸小、易于集成、价 格低廉、制作工艺简单等优点【ldl，因而备受人们青睐。 掺铒光波导放大器(EDWA)利用掺有稀土离子铒的光波导作为增益介质，在泵浦光的激发下 实现光信号的放大。当处于基态4115／2的铒离子受到波长为980nm的泵浦光激励后，铒离子将获得能 量跃迁到激发态能级4IlI，2上