位移传感器测量系统在线误差分析与调试.pdfVIP

108 工 具技 术 位移传感器测量系统在线误差分析与调试 陈玮 ，李强，田俊成 陕西工业职业技术学院 摘要：通过多年来对磁栅、光栅、球栅等线位移传感器的安装、调试、维修以及对数显系统精度大量检测，总结 出在静态 (计量室)和在线 (车间)条件下准确检测调整线位移传感器细分误差的方法。以SONY磁栅传感器为例进 行分析。 关键词：磁栅传感器；误差分析；检测与调试 中图分类号：TGS0 文献标志码：A ErrorAnalysisandDebuggingonMeasurementSystem of DisplacementSensorinW ork ChenWei，LiQiang，TianJuncheng Abstract：Thro．ghtheinstallation，debuggingandmaintenanceforsomelineardisplacementseIKsorssuchasmagneticgate sensor，gratingsensor，ball dsensorandalargenumberoftestingforaccuracyofthedigitaldisplaysystem ．Weconcludedways toaccuratelytestanddebugtheerroranalysisofthelinera displacementsensoronthenon-workingconditionandworkingcondition as wellas somefactorsweshouldpayattentionto．Nowwewillnaalyzeanexactexample—SONY magneticgatesensorwhichweuse commonlyinourfactory． Keywords：magneticgatesensor；erroranalysis；testinganddebugging 恒温车问或虽末在恒温车间但周围环境温度梯度很 1 引言 小的一般场所，因磁栅尺热膨胀系数与钢铁相同，那 磁栅数显系统是由磁栅尺、数显表、联合组成的 么只要主机基体是钢铁的，误差(3)也可忽略不计； 测量系统，它精度高、体积小、对周围电磁场的抗干 但误差(4)、(5)就难以区别判定了。 扰能力较强，在油污、粉尘、振动等恶劣环境下有较 2．2 内插细分误差的检测与分析 好的稳定性 。其热膨胀系数与钢铁相同、安装简单、 磁栅数显系统是一项高新技术成果，由于其稳 使用方便等优点被广泛应用于普通机床的数字检测 定性精度高、技术先进，可广泛与各种机械加工设备 和数控机床的自动控制方面，高精度磁栅系统在测 配套使用 。对其检测必须要有相应 的方法和手段 ， 量机上也有不少的应用。从磁栅数显检定验收、安 目前一般在线检测选用以毫米为整数的不同尺寸段 装调试过程中和用户反馈的大量信息，分析整理出 量块作为标准器具进行检验，但这种判定方法过于 几个值得注意的问题。 简单也不够全面。 磁栅尺多数以0．2mm为节距，对小于0．2mm的 2 磁栅数显系统在线误差来源及分析 读数是靠系统内插细分来完成。选用以毫米整数量 2．1 系统误差来源