聚合物微纳制造技术现状及展望.pdfVIP

聚合物微纳制造技术现状及展望 目录 聚合物微纳制造技术现状及展望 1 1、微纳系统的意义、应用前景 1 2 、微纳机电系统国内外研究现状和发展趋势3 3. 聚合物微纳制造技术研究现状9 4. 展望 11 微/纳米科学与技术是当今集机械工程、仪器科学与技术、光学工程、生物 医学工程与微电子工程所产生的新兴、边缘、交叉前沿学科技术。微/纳米系统 技术是以微机电系统为研究核心，以纳米机电系统为深入发展方向，并涉及相关 微型化技术的国家战略高新技术[1] 。微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS ) 和纳机电系统(Nano Electro Mechanical System, NEMS )是微米/ 纳米技术的重要组成部分，逐渐形成一个新的技术领域。MEMS 已经在产业化 道路上发展，NEMS 还处于基础研究阶段[2]。 从微小化和集成化的角度，MEMS (或称微系统)指可批量制作的、集微型机 构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，直至接口、通讯和电源 等于一体的微型器件或系统。而NEMS(或称纳系统) 是90 年代末提出来的一个 新概念，是继MEMS 后在系统特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小 型机电一体的系统，一般指特征尺寸在亚纳米到数百纳米，以纳米级结构所产生 的新效应(量子效应、接口效应和纳米尺度效应) 为工作特征的器件和系统。图1 给出了MEMS 和NEMS 的特征尺度、机电系统的尺度与相应的理论问题[2] 。 图1 MEMS 和NEMS 的特征尺度、机电系统的尺度与相应的理论问题 1、微纳系统的意义、应用前景 由于微/纳机电系统是一门新兴的交叉和边缘学科，学科还处于技术发展阶 段，在国内外尚未形成绝对的学科和技术优势；微/纳米技术还是一项支撑技术， 它对应用背景有较强的依赖性，目前它的主要应用领域在惯导器件、军事侦察、 通信和生物医学领域，以及微型飞机和纳米卫星等产品上。 （1）重要的理论意义和深远的社会影响 微/纳米系统技术是与其它广泛学科具有互动作用的重要的综合技术，涉及 学科领域广泛。微/纳米系统技术是认识和改造微观世界的高新技术，微/纳米系 统是结构集成化、功能智能化的产物。微/纳米系统表现出的智能化程度高、实 现的功能趋于多样化。例如，微机电系统不仅涉及到微电子学、微机械学、微光 学、微动力学、微流体学、微热力学、材料学、物理学、化学和生物学等广泛学 科领域，而且会涉及从材料、设计、制造、控制、能源直到测试、集成、封装等 一系列的技术环节。 微/纳米系统技术的发展以之为基础，反过来也将带动相关学科和技术的发 展。世界上著名的大学，如美国麻省工学院、加州大学伯克利分校、卡麦基隆大 学，以及圣地亚国家实验室等无不把发展微/纳米技术作为重要的研究方面。我 国一些著名大学尽管研究方向侧重不一，但也无一例外地重点发展微/纳米技术， 实现学科群跨越式发展。 （2 ）巨大的经济效益 微机电系统在美、欧、日等发达国家已经形成了一个新兴产业，仅美国微机 电系统2005 年的商业产值预计可达650 亿美元。以控制汽车安全气囊展开的微 加速度计为例，估计未来几年内，由分立组件构成的传统加速度计将全部被微加 速度计所代替。传统加速度计的单件成本超过50 美元，而基于MEMS 技术的同 类微加速度计的单件成本仅为5 到10 美元。相比之下，微加速度计更小、更轻、 更可靠，功能更趋于完善。 （3 ）国防建设的要求[1] 现代军事装备正朝着微型化、集成化、高精度方向发展，微机电系统充分适 应了这一趋势，特别是在活动空间狭小，操作精度要求高，功能高度集成的航空 航天等领域有广阔的应用潜力。各种微型加速度计、微型陀螺、微型惯性测量组 合(MIMU)等惯性器件在航行器、机动车等姿态测控、制导等方面有良好的适用 性，微型飞机( UAV)在未来战争中日益显示出特殊地位，成为最具发展潜力的现 代作战武器之一；利用微机械数组进行机翼流体状态检测，并通过微致动来实现 宏观飞行控制有望改变