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25×显微镜物镜设计
设计要求：
1. 显微物镜放大倍率为25×；
2. 物方数值孔径NA=0.4；
3. 物高为1mm；
4. 物方工作距不能太小。
设计过程：
第一步：选择初始结构，根据题目要求设置参数
显微镜物镜的初始结构选择如下：
在用ZEMAX软件进行设计时，将显微镜倒置设计。设置参数如下：垂直放大率为
0.04 ，物方数值孔径为0.016 ，物高为25mm ，物方半视场高度为12.5mm。此时该
系统的结构、传函以及像差如图1所示。从MTF图和像差图可以看出该显微物镜的
成像质量还不是很好，需要对其进行校正。
第二步：手动校正
使用ZEMAX软件进行手动校正，手动校正主要是通过改变曲率半径使成像质量逐
渐得到优化。
手动校正后，显微镜物镜结构的数据如下：
手动校正后该系统的结构、传函以及像差如图2所示。
第三步：自动优化
首先，建立自动优化函数。具体过程如下：选择Editors Merit Function ，弹出
Merit Function Editor 对话框，在Type栏中输入EFFL，并将Target定为6.930840，
Weight值取1.0；
其次，选择Merit Function Editor对话框工具栏中的ToolsDefault Merit Function,
设置Optimization and Reference为RMS～Wavefront～Centroid ；
最后，选择“opt ”按钮进行自动优化。
自动优化后，显微镜物镜结构的数据如下：
图1 显微物镜初始结构系统报告图
图2 显微物镜手校后系统报告图
图3 显微物镜自动优化后系统报告图
经过自动优化后的显微物镜的结构、传函以及像差如图3所示。此时，像方数
值孔径NA=0.3731118,传递函数接近于衍射极限，成像质量较好，设计完成。
其显微物镜优化前后的波相差图如下：
图4 显微物镜初始结构系统波相差图
图5 显微物镜手校后系统波相差图
图6 显微物镜自动优化后波相差图
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