冶金法制备多晶Si杂质去除效果研究.pdfVIP

特 种 合 金 特种铸造及有色合金 　2007 年第 27 卷第 9 期 冶金法制备多晶 Si 杂质去除效果研究 徐云飞 　谭 　毅 　姜大川 　许富民 (三束材料改性国家重点实验室 ,大连理工大学材料科学与工程学院) 摘 　要 　采用电子束熔炼以及定向凝固对纯度为 988 %的工业 Si 进行提纯 ,研究电子束对 Si 中各种杂质的去除效果 , 以 及定向凝固对金属杂质的去除效果 。结果表明 , 电子束对 Si 中的各种主要杂质都有一定的去除效果 ,对 P 元素和 Ca 元素 尤为明显 , 电子束熔炼可将其去除 90 %以上 ,定向凝固对 Fe 、Al 、Ca 等金属杂质的去除效果比较好 。一次定向凝固可使 Si 中的 Fe 含量降到 0000 1 %以下 。 关键词 　电子束 ;定向凝固;太阳能级 Si ;杂质 中图分类号 　O6 13 . 72 　　　　文献标志码 　A 　文章编号 　100 1 - 2249 (2007) 09 - 0730 - 03 　　以多晶 Si 为基板材料的太阳能电池因其高转换效 和定向凝固相结合的角度去探讨冶金法去除杂质元素 率 、较小的生态影响和长时间不降解等优点 ,使得其 自 的效果 ,并从理论上分析进一步去除的可能性 。 从太阳能电池发明至今一直处于主导地位[ 1～3 ] 。目前 生产多晶 Si 的技术被几个西方国家的公司所垄断 ,我 1 　试验 国在多晶 Si 制备方面严重受制于人[4 ] 。 1 . 1 　电子束熔炼试验 Si 作为太阳能电池基板 ,对杂质允许浓度要求严 格 ,直接还原法制成的工业 Si 无法达到要求 ,所以必须 本试验采用真空电子束熔炼炉进行熔炼 ,该设备主 除掉杂质元素[ 5 ] 。冶金法是 目前发展的新的制备高纯 要利用炉中的电子枪将几十至数百 k W 的高能电子束 [ 6 ] 聚焦于 1 cm2 左右 ,打在 Si 料的表面 ,产生 3 500 °C 以 多晶 Si 的研究工艺之一 ,主要包括 : 吹气精炼法 、电 子束熔炼法[7 ] 、等离子束熔炼法[ 8 ] 、定向凝固[9 ] 、造渣 上的高温将 Si 料熔化 , 同时导致杂质从 Si 液中挥发出 法[ 10 ] 、高温熔盐电解法[ 11 ] 、高纯原料碳热还原法[ 12 ] 、真 来以达到提纯的目的。试验前采用工业 Si 将电子束熔 空熔炼法[ 13 ] 等 ,其中电子束熔炼和定向凝固相结合的 炼炉中的水冷铜坩埚进行熔炼清洗 ,然后进行熔炼试 方法最为引人注 目,定向凝固技术也是获得特殊的组织 验 ,相关参数为 : 电子枪功率为 20～26 k W ,熔炼时间为 ( ) - 3 和优良性能的方法[ 14 ] , 目前多晶 Si 锭的制备也采用该