多晶硅工业装置用泵.pdfVIP

2009 年全国石油化工机泵年会会刊 多 晶硅 工 业 装 置 用 泵 石守礼 ( 华陆工程科技有限责任公 司) 《 小、产品质量稳定并且易于扩建的改 良西门子工艺, 1 多晶硅材料简介及其工艺流程 1. 1 多晶硅材料简介 化 即经过精馏提纯的三氯氢硅在纯氢气环境 下, 在 高 工 温的硅芯表面沉积生成棒状多晶硅 。三氯氢硅还原 多晶硅材料作为制造集成 电路硅衬底、太阳能 与四氯化硅转化后的尾气通过加压并低温分离 回 电池等产品的主要原料, 是发展信息产业和新 能源 收, 分离出的氯硅烷至精馏提纯工段, 氢气回还原炉 产业的重要基石。 设 和转化炉循环使用, 氯化氢返回到三氯氢硅工段合 备 多晶硅是单 晶硅的主要原料, 其深加工产品被 成三氯氢硅 。精馏工段分离出的四氯化硅至转化炉 广泛应用于半导体工业, 是 当代人工智能、自动控 转化为三氯氢硅, 精馏的三氯氢硅则到还 原炉生成 与 制、信息处理、光 电转换等半导体器件和集成 电路的 多晶硅 。 ww 管 基础材料 。全球 95% 以上 的集成 电路芯片及各类 多晶硅棒出炉后, 被输送 到硅棒切断机上, 经去 半导体器件均为硅材料制造 。 w 头、取样、指标分析并根据用户需要的几何形状、技术 . 道 伴随世 界发展中国家的工业进程的加快, 能源 参数将产品进行分档切断、滚磨、打尖、清洗、干燥、检 t 》 c 消耗持续呈现增长趋 势。据估计, 目前全球 已探 明 验。合格产品由输送机送至包装 岗位进行包装。 的一次能源的储量会在百年 内消耗殆尽。为此, 可e 生产工艺见图 1。 再生能源的开发利用为全球所关注, 绿色环保、资源 d 丰富的太阳能得到人类的高度青睐。 目前, 太 阳能 .co 光伏产业 已成为世界上发展最快的高新技术产业之 m 一, 过去十年的增速 已达 39% 。太阳能电池是太 阳 能光伏产业链上游的主要产 品, 而多 晶硅材料正是 太阳能电池的核心原料 。 1.2 工艺流程 多晶硅生产有多种工艺方法, 如改 良西门子法、 硅烷热分解法、硫化床法、冶金法、汽液沉积法、区域 图 1 生产工艺路线示意 熔化提纯法、无氯技术、碳热还原反应法、铝热还 原 2 装置用泵概要 法 以及常压碘化学气相传输净化法等。主要是将固 态工业硅转化成在允许温度范围内存在的液态化合 2 . 1 概述 物, 然后用高效的精馏方法进行深度提纯 以除去其 仅 以 1 500 t/ a 多晶硅装置为例 。 中的杂质, 使元素硅 以多晶硅棒的形式沉淀出来。 本工程装置 中, 机泵输