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常用几何精度的检具，量具 目前国内检测数控机床几何精度的常用检测工具有精密水平仪、精密方箱、直角尺、平尺、平行光管、千分表、测微器、高精度检验棒等。主要检测项目有X、Y、Z轴的相互垂直度；主轴回转轴线对工作台面的平行度；主轴在Z轴方向移动的直线度、主轴轴向及径向跳动。每项几何精度的具体测量方法可按JB 2674-82《金属切削机床精度检测通则》、JB 4369-86《数控卧式车床精度》、JB/T 8771.1-7-1998《加工中心检验条件》等有关标准的要求进行，也可按机床出厂时的几何精度检测项目要求进行。 1.精密水平仪(精度0.02mm)，如图1。 图1 精密水平仪 ⑴工作原理 水准泡式水平仪靠玻璃管内壁具有一定曲率半径的水准气泡移动来读取测量数值。当水平仪发生倾斜时，则气泡向水平仪升高的一端移动，水准泡内壁曲率半径决定仪器的测量读数精度。 ⑵用途 水平仪主要用于检验各种机床设备、工程机械、纺织机械、印刷机械、矿山机械等设备导轨的平直性，安装的水平位置和垂直位置。 ⑶规格 水平仪按不同用途制造成框式水平仪、条式水平仪两大类型，本工序所用为条式水平仪，规格200mm，精度0.02mm/m。 ⑷结构 水平仪主要由金属主体、水准泡系统以及调整机构组成。主体作为测量基面，水准泡用来显示主体测量基面的实际数值，调整机构用作调整水平仪零位。 ⑸使用方法 测量时水平仪工作面应紧贴被测物体表面，待气泡静止后方可读数。 水平仪所标志的分度值是指主水准泡中的气泡移动一个刻线间隔所产生的倾斜，即以1000m为基准长的倾斜高与底边的比表示。为避免由于水平仪零位不准而引起的测量误差，在使用前必须对水平仪的零位进行检查或调整。 图1 精密水平仪 水平仪零位正确性检查与调整方法如下： 将水平仪放置在基础稳固，大致水平的平板或者导轨上，紧靠定位块。待气泡稳定后，在一端(如左端)读数为a1，然后按水平方向调转180°，准确地放在原位置，按照第一次改数的一边记下气泡，另一端的读数为a2，两次读数差的一半，则为零位误差即等于(a1-a2)/2(格)。如果零位误差已超过允许范围，则需调整零位机构。通过调整零位的调整螺母(或螺钉)使零位误差减小至允许值以内。对于非规定调整的螺杆(钉)螺母不得随意拧动。调整前水平仪底工作面与平板必须擦拭干净，调整后螺钉或螺母等件必须固紧，然后盖好封尘盖板。 ⑹注意事项 ①水平仪使用前用无腐蚀的汽油将工作面的防锈油洗净，并用脱棉纱擦拭干净。 ②温度变化对水平仪测量结果会产生误差，使用时必须与热源和风源隔绝。使用环境与保存环境温度不同时，则需在使用环境中将水平仪置于平板上稳定2h后方可使用。 ③测量操作时必须待水泡完全静止后方可读数。 ④水平仪使用完毕，需用将工作面擦拭干净，然后涂上无水、无酸的防锈油，置于专用盒内放在清洁干燥处保存。 2.百分表(规格/型号0~10mm) ⑴用前应将百分表量面、测杆擦净。 ⑵使用或鉴定百分表前，应将测头压缩使指针至少转动1/6圈。 ⑶除修理或调整尺寸，不允许拆卸百分表。 3.方尺，如图 ⑴参数 规格(mrn)SF500；外形尺寸(长/mm×宽/mm×高/mm) 500×500×60；重量(kg)：34.8。 ⑵精度等级 相邻两测量面垂直度：7μm；测量面直线度：3μm；相对测量面平行度：7μm。 ⑶注意事项 ①花岗石属硬性材料，应注意碰伤或断裂，但花岗石的碰伤不影响精度。 ②较小的量具使用前应恒温6h以上，中等规格的平板应恒温在12h以上，大规格的平板需恒温24h。 ③使用中的灰尘，用干净的绸布或干燥干净的手掌擦净即可，对油污等不要用清水洗，最好用汽油、酒精等挥发速度快的清洗剂清洗。 ④花岗石平板安装时，必须按标定的位置支承，检定平板精度时，基础应牢固。 5.双频激光干涉仪 双频激光干涉仪是当代国际机床标准中规定使用的数控机床精度检测验收的测量设备，如图5-2所示。下面以美国惠普公司生产的HP5528A双频激光干涉仪为例，介绍其工作原理和操作方法。 图5-2 双频激光干涉仪  ⑴测量原理 由激光头激光谐振腔发出的He-Ne激光束经激光偏转控制系统分裂为频率分别为f1和f2的线偏振光束，经取样系统分离出一部分光束被光电检测器接收作为参考信号，其余光束经回转光学系统放大和准直，被干涉镜接收反射到光电检测器上。机床运动使干涉镜和反射镜之间发生相对位移，两束光发生多普勒效应，产生多普勒频移±Δf。光电检测器接收到的频率信号(f1-f2±Δf)和参考信号(f1-f2)被送到测量显示器，经频率放大、脉冲计数，送入数字总线，最后经数据处理系统进行处理，得到所测量的位移量，即可评定数控机床的定位精度。 图5-2 ⑵测量方法 首先，完成双频激光干涉仪测量系统