三氯氢硅精馏新过程的研究和其节能降耗的应用.pdfVIP

化 工 进 展 ENGINEERINGPROGRESS ·297· 2009年第28卷增刊 CHEMICALINDUSTRYAND 三氯氢硅精馏新过程的研究及其节能降耗的应用 陈文1，徐昱2，陈位强3，李群生1 石化有限责任公司；四川成都610036) 摘要：采用现代先进的计算机模拟软件，对三氯氢硅精馏过程进行了详细的模拟计算和优化，在此基础上，得 到了优化的流程和工艺，达到了节能降耗的目的。采用现代高效分离技术——高效导向筛板精馏塔，对三氟氢硅 精馏过程进行了设计、计算，并且在实际生产中进行了应用。应用表明，这种经过理论优化和高效塔板改进的精 馏技术，可以实现产品质量大幅度提高，硼的含量降低到极低，排放的三氯氢硅减少50％以上，同时节能20％--一 30％，实现了大规模提高经济效益的目的。 关键词：三氯氢硅；精馏；节能；减排；硼含量；经济效益 多晶硅是硅产业链中的重要中间产品，是半导 三氯氢硅和四氯化硅，少量的二氯二氢硅、氯化氢、 体工业、电子信息产业、太阳能光伏电池产业的最 氢气、三氯化硼等轻组分及少量的三氯化磷、聚氯 重要、最基础的功能性材料。为促进我国光伏产业 硅烷等重组分。初步的精馏提纯要求为三氯氢硅纯 和电子信息产业的持续快速发展，国家发改委将“光 度由85％提纯到99．9％，四氯化硅纯度由13％左右 伏硅材料的技术开发”列入《可再生资源产业发展 提纯到99．O％；三氯氢硅产品中三氯化硼、三氯化 指导目录》。 磷等组分的含晕降到极低。 改良西门子法是目前生产多晶硅最为成熟、投 1．2精馏方案的初步设计 资风险最小、最容易扩建的工艺，所生产的多晶硅 常压下，三氯氢硅的沸点为34℃，四氯化硅 占当今世界生产总量的70％--一80％。我国的多晶硅的沸点为57．6℃，两者相差23．6℃，容易用精馏 生产也大多采用改良的西门子法。三氯氢硅是改良 的方法分开。为了得到纯度好的三氯氢硅产品和四 西门子法生产多晶硅的中间产品，利用H2还原 氯化硅副产品，提高产品的回收率，设计采用三级 连续精馏装置。通过三氯氰硅预塔(简称预塔)分 SiHCl3、在硅芯发热体上沉积硅的工艺技术，就是 通常所说的西门子法。三氯氢硅的纯度直接影响到 凝脱去原料中的大部分轻组分；通过三氯氢硅塔(简 多晶硅产品的纯度，三氯氢硅的提纯是多晶硅生产 称三塔)将三氯氢硅和四氯化硅分离，塔顶得到三 的关键环节…。 氯氢硅产品，塔釜的物料进入四氯化硅塔(简称四 本研究采用现代先进计算机模拟软件对三氯 塔)；四氯化硅塔的塔顶蒸出四氯化硅副产品，从 氢硅精馏提纯过程进行了模拟设计和优化，并采 塔底采出三氯化磷、聚氯硅烷等高沸物。 用高效导向筛板对精馏塔进行了设计改造，提高 为了节省制冷能耗，使用常温冷却水代替深 了产品质量，达到了节能减排，提高经济效益的 冷水进行冷凝器的冷却，采用加压精馏的方法， 目的。 提高冷凝温度【lJ。设计预塔和三塔的操作压力为 0．3MPa，四塔的操作压力为0．2MPa。由于进料 1 三氯氢硅精馏工艺的计算机模拟 温度对精馏过程的能耗及产品组成都有影响，为 了减少能耗提高分离效率，考虑在预塔前增加换 设计与优化