利用激光沉积研究镧钼阴极表面发射机制.pdfVIP

维普资讯 第 32卷 第 4期 激 光 技 术 Vol_32．No．4 2008年 8月 LASER TECHN0L0GY August，2008 文章编号：1001—3806(2008)04·0357—03 利用激光沉积研究镧钼 阴极表面发射机制 郝世明 ，聂祚仁 (1．河南科技大学 理学院，洛阳471003；2．北京工业大学 材料科学与工程学院，北京 100022) 摘要：为了研究镧钼阴极表面发射机制，采用专为研究阴极设计的与俄歇能谱仪相连的脉冲激光沉积装置制备薄 膜阴极。通过测量阴极发射性能和原位分析表面成分 (原子数分数)，研究了阴极表面元素镧 丑【和氧0变化对阴极发 射性能的影响。实验发现随着阴极表面镧膜变薄 ，阴极发射性能逐渐减弱；阴极发射性能与表面元素La，0的含量有关， 表面层中La／O越高，阴极的发射性能越好。结果表明，传统的单原子层理论无法解释镧钼阴极的发射机制；超额镧在镧 钼阴极的发射中起到了关键作用。 关键词 ：激光技术；热电子发射；发射机制；脉冲激光沉积；薄膜 中图分类号：0484 文献标识码：A Studysurfaceemissionmechanism ofLa203-MOcathodebylaserdeposition HAO Shi—ming一．NIE Zuo—ren (1，CollegeofSciences，HenanUniversityofScienceandTechnology，Luoyang471003，China；2．CollegeofMaterialScienceand Engineering，BeijingUniversityofTechnoloyg，Beijing100022，China) Abstract：Inordertostudythesurfaceemissionmechanism ofLa2O3一Mocathode，film cathodeswerestudiedbyusingaset ofequipment，speciallydesignedforcathoderesearch，withwhichfilm cathodecanbepreparedbypulselaserdeposition．Inorder togain insightinto therelation between cathode emission propertiesand the cathodesurface I2／0 ratio，electron emission propertiesandsurfacecompositions(1anthanumandoxygen)ofthecathodeswereinvestigatedexperimentally．Experimentresults indicatethattheemissioncurrentdensitiesdescentgraduallyalongwithsurfacelanthanumfilm thicknessattenuation；thecathode emissionpropertiesaredeterminedintensivelybythesu~aceatomicLa／O ratios．ThehighertheLa／O ratiogets thebetterthe ， emissionprope~yreaches．ThenthetheoryofLa：03一Mocathodeemissionmechanismwasdiscussed，Itindi