双层金属上电极Pt-Ag对场助热电子发射阴极发射性能的影响.pdfVIP

维普资讯 材料导报 2005年 l1月第19卷专辑V 双层金属上电极 Pt—Ag对场助热电子发射阴极发射性能的影响 梁晶晶 李德杰 (清华大学电子工程系，北京 100084) 摘要 实验研究了采用双层金属上电极Pt-Ag相对于单层金属上电极 Au，对金属一绝缘体一半导体一金属(MI— SM)场助热电子发射阴极发射性能方面的改善，并讨论 了双层金属上电极各层金属厚度、退火处理对其发射性能的影 响。通过优化Pt—Ag上电极内层 Pt膜厚度制备的阴极样品，其电子发射率退火前为 1．8×10_“，退火后提高到 7．2× 1O 。 关键词 场发射 双层金属上电极 发射率 退火 EffectofthePt—AgTwo-layer-metalTopElectrodeontheEmission PropertyofFieldAidingHotElectronEmissionCathode LIANGJingjing LIDejie (DepartmentofElectronicsEngineering，TsinghuaUniversity，Beijing100084) Abstract Thefieldemissionpropertyofthemetal—insulator-semiconductor-metal(MISM)fieldaidinghot electronemissioncathodeisimprovedbyusingaPt—Agtwo-layer-metaltopelectrodeinsteadofsinglelayermetalALL Theeffectofmeta1thicknessofthetopelectrodeandannealingontheemissionpropertyisinvestigated．Theemitting ratioofthecathodewithoptimizedPtlayerthicknessis1．8×10一 beforeannealingandrisingto7．2×10一 after annealing． Keywords fieldemission，two-layer-metaltopelectrode，emittingratio，annealing 了进一步提高发射率，改善阴极发射性能，人们采用双层薄膜材 0 引言 料作为上电极 ，如MISM 阴极中采用方块电阻650E~的Au_Ag 场发射显示器件 (FED)是一种为了适应高性能显示要求而 双层上电极结构，其发射率比相同上电极方块电阻的单层电极 发明的平板显示器件，它具有高亮度、高对比度、重量轻、功耗低 Au样品提了高 1倍 ，达到3×10～Ea,4]。本文试采用Pt、Ag结 等优点。场发射显示的发展可分为两个阶段。第一阶段为微尖 合的双层金属上电极，将其发射率与单层金属上电极 Au作比 型阵列场发射阴极，以Spindt尖为代表[1]。工作时在微尖上加 较，并讨论了不同的Pt、Ag薄膜厚度对电子发射率 的影响。另 上强场使其发射电子，通常一个阴极由几个至几百个这样的单 外，还讨论了氮气保护下450。C退火处理对 P卜Ag上电极阴极 元构成，这就使场发射阴极能发射足够多的电子，获得几百至几 样品发射性能的影响。 万cd／ 的亮度。微尖型阵列场发射由于电子束发散，存在增