定偏心锡磨盘的超精密平面抛光工艺.pdfVIP

第zo卷第t期增刊 !!竺!!苎一 。 ～堡翌坚至兰塑 —————————————————_，—一一 定偏心锡磨盘的超精密平面抛光工艺 张红霞 高宏刚。 殷伯华 吴明根 (超精密加工技术国防科技重点实验室北京100076) (*中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室长春130022) 摘要介绍一种新型的定偏心式的锡盘的超精密平面抛光置嚣。在表面成形模型的基础上，对定偏心式抛光方式进行分析、 模拟计算。获褥表面材料均匀去除的条件；采用锡盘作为研蘑盘及合理的工艺条件，对硬脆材料、不锈钢进行大量研抛试验， rnxB、平面度UlO／CDloo，不锈钢表面粗糙度Ralnm、平面度^／由160。 我们获得硬脆材科表面粗糙度0．5nm 关键词超精密加工锡密盘平面度粗糙度 eccentrictin astable with lap Super—polishing Gao BohuaWu ZhangHongx|iaHonggang‘YinMinggen 130022) of andFineMechanics chunInstiitute (*Chang optics fixedeccentric atin and kindof offlat with lap introdueesanew technique Abstract super—polishing This口aPer mate+ ofeven ofmovement，condition distance．Onthebasis andcalculation model，byanalysis o{surface—forming