光谱分析仪器光学系统的研究现状.pdfVIP

光谱分析仪器光学系统的研究现状 何淼1武建芬1周 超 1胡学强1王 宇 2 1.钢研纳克检测技术有限公司，北京1000842.中国科学院电子学研究所，北京100190 摘 要：综述了几种主流的光谱分析仪器光学系统，包括罗兰圆系统、Czerny-Turner系统、中 阶梯光栅交叉色散系统以及新型全息光栅色散系统。罗兰圆系统基于凹面光栅色散，不需其 他光学元件，技术成熟，是直读光谱仪的基本结构；Czerny-Turner系统基于平面光栅，结构灵 活多样，可实现高分辨率和小型化，是光谱仪中应用最为广泛的结构；中阶梯光栅交叉色散系 统基于新型的中阶梯光栅，采用棱镜或平面光栅产生交叉色散，形成二维光谱图像，能够实现 全谱瞬态直读；新型全息光栅色散系统主要包括平场全息光栅色散系统和Ⅳ型全息光栅色散 系统，结构简单、像质好，适合微小型光谱仪的研制。对每一种系统，分别从色散光路、应用领 域、优势与不足等方面进行了归纳和比较。 关键词：光谱分析仪器；光学系统；光栅 TH744 A 芝长扫描机构 ．目前国内外 乎都应用这j ‘，I～／IX口WI 梯光栅之I 卜到几百{ j耀等优良 ；现光谱扫j 以应用于近 二二，Lj上出I伽一 R矽L侣p丹，日a墨1_ 的研究热点。i 虻势和不足，因_ 瞎应用需求与局 Presentresearchstatusofopticalstructuresforspectrometers HE MiaoWUJian-fenZHOU ChaoHUXue-qiangWANG Yu 1.NCSTestingTechnologyCo.,Ltd.Beijing100084,China 2.InstituteofElectronics,ChineseAcademyofSciences,Beijing100190,China Abstract:Severalleadingopticalstructuresforspectrometersareintroduced,includingtheRowland system,theCzerny-Turner(C-T)system,theechellesystem,aswellastheopticalsystemsbasedon novelholographicgratings.Needingnootheropticalelements,theRowlandsystemisthebasicstruc tureofatomemittingspectrometers(AES).Atthesametime,theC-Tsystemisthemostwildly usedstructureinspectrometersforitshighresolutionandflexibility.Basedonthenovelgrating,the echellesystemhastwoelementsdispersingincrosseddirections,causinga2-dimensionimagewhere thespectrainformationcanbeacquiredsimultaneously.Novelholographicgratingswiththeadvan tageoflittleaberrationandnoauxiliaryoptics,maybecomethemaindirectionsformicro-spectrome ters.Foreachstructure,itscomposition,function,application,advantageanddisadvantagearelisted andcomparedindetail. Keywords:spectrometer;opticalstructure;grating