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第31卷第6A期 计 量 学 报 V01．31．№6A
SINICA
2010年12月 ACTAMETROLOGICA December，2010
doi：10．3969／j．issn．1000-1158．2010．2：2．026
基于移相干涉技术的高精度活塞内径
测量方法研究及测量系统研制
王蔚晨， 朱小平， 杨自本
(中国计量科学研究院，北京100013)
摘要：介绍了一种应用移相干涉法测虽精密活塞内径的方法，并研制了高精度活塞内径测最仪。利用一等量
块与平面平晶研合形成的标准具作为标准，采用白光干涉定位、激光干涉测长与移相干涉技术结合的位移测量技
术方案实现了活塞内径的高精度非接触自动测量。实验结果表明，该仪器在(10—100)nlln测量范围内，测量分辨
率为1am，测量结果的标准偏差不大于50am。
关键词：计量学；压力基准；移相干涉；孔径测量；白光干涉
中图分类号：TB937 文献标识码：A 文章编号：1000一1158(2010)6A-0112-04
of Measurementof
DevelopmentHighAccuracy
Inside．diameterwith
Cylinder Phase-shiftingInterferometry
WANG ZHU YANGZi．ben
Wei．then。 Xiao—ping，
Instituteof
(National Metrology，Beijing100013)
novel methodofinsidediameterwitll is asetof
Abstract：A developed，and
measuring phase·shiftinginterferometry
insidediameter instrumentis first block isused鹪the
devicenamed designed．Inbrief．the
piston’8 measuring grade gauge
interferometersare tOsurface insidediametercanbe
standard．twomichelson
measuring applied positioning．Piston’s
measured resultsindicatethatthe
laserinterferometerwith
by combiningphase-shiftinginterferometry．rnleexperimental
frommmto100 resolutionis isnot
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