聚酰亚胺衬底硅基薄膜太阳电池及组件研制.pdfVIP

聚酰亚胺衬底硅基薄膜太阳电池及组件研制 叶晓军 陈亮 杨洋 周丽华 杨君坤 王小顺 唐道远 马宁华 曹娜娜 蒋帅 周文灿 王顺 上海空间电源研究所 上海 200245 摘要 利用卷绕式PECVD （等离子体辅助化学气相沉积）设备在25μm 厚的聚酰 亚胺衬底上连续沉积a-Si/a-SiGe 双结电池，解决了设备中不同反应腔室的氢气 隔离问题，优化了薄膜沉积的工艺条件，将薄膜的不均匀性控制在5 ％以内。采 用激光划线和丝网印刷研制高电压集成组件，并用层压的方法获得适用于临近空 2 间环境的组件。通过优化电池结构，研制出效率达到6.50% （AM0 ，1353W/m ， 25 ℃）的硅基薄膜太阳电池；将电池进行组合后，获得工作电压超过50V 的高 电压柔性电池组模块。 关键词卷绕；双结电池；集成组件；柔性太阳电池 中图分类号 O436 文献标识码 A Research of Silicon-based thin film solar cell and modules on polyimide substrate Ye Xiaojun, Chen Liang, Yang Yang, Zhou Lihua, Yang Junkun, Wang Xiaoshun, Tang Daoyuan, Ma Ninghua, Cao Nana，Jiang Shuai, Zhou Wencan, Wang Shun (Photovoltaic Research Center, Shanghai Institute of Space Power-sources ，Shanghai 200245，China) Abstract A-Si/a-SiGe tandem junction solar cell is deposited on 25μm thick polyimide substrate by roll-to-roll PECVD system. H2 dilution is used for gas separation between different chambers. Silicon thin film thickness uniformity is between ±5% after the deposition parameters optimization. Combining the laser scriber and screen printer, we get the high-voltage monolithic connection modules. By optimizing tandem junction solar cell structure and matching current between the two junction, we get the 6.50% （AM0 ， 2 1353W/m ，25 ℃）efficiency solar cell. Connecting the solar cells, the module’s operation voltage is more than 50V. Keywords roll-to-roll; tandem junction; monolithic; flexible solar cell; 1 引言 采用超薄（25μm ）聚酰亚胺等塑料作为柔性硅基薄膜太阳电池的衬底，可 以获得比不锈钢等金属箔衬底更高的柔性和质量比功率，在平流层飞艇、游艇和 [1] 建筑一体化光伏发电 等方面具有很好的应用前景。同时，柔性薄膜电池适合卷 对卷连续镀膜的制造方式，通过扩展设备长度和衬底宽度，可极大地提高电池生 [2] 产效率 。 上海空间电源研究所近年来成功开发出适用于幅宽300mm