大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性.pdfVIP

第 26 卷 　第 1 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol. 26 　No. 1 2005 年 1 月 　　 CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS 　　Jan. ,2005 大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性 1 1 2 2 1 1 1 1 陈 　永 　焦继伟 　王惠泉 　金仲和 　张 　颖 　熊 　斌 　李昕欣 　王跃林 ( 1 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室, 上海　200050) (2 浙江大学信电系 , 杭州　310027) 摘要 : 设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺. 该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均 为滑膜阻尼 ,有效提高了微机械陀螺的 Q 值和灵敏度 , 同时降低了陀螺的热机械噪声. 对陀螺噪声特性进行的分析 表明 ,该陀螺具有相对很低的热噪声. 制作了陀螺芯片 ,并测试了其机械性能和噪声特性. 结果表明 ,该陀螺的噪声 μ ( - 1) 谱密度不超过 60 V/ Hz ,灵敏度为 10mV/ °·s . 该微机械陀螺有望实现较高的角速度分辨率. 关键词 : 陀螺; 微机械加工 ; 噪声 ; 滑膜阻尼 PACC : 0630G; 0710C ; 4350 ( ) 中图分类号: TP21212 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 2005 部分包含一个驱动质量块和一个检测质量块 ,检测 1 　前言 质量块位于驱动质量块的中间 ,通过弹性梁和驱动 质量块连接 ,两个驱动质量块中间由弹性梁连接起 微机械陀螺由于具有体积小 、成本低等特点 , 日 来构成音叉式结构. 检测质量块上制作的栅型可动 益引起人们的关注. 目前研究的微机械陀螺大部分 电极与玻璃衬底上叉指形的检测固定电极构成了差 为振动式微机械陀螺 ,其中的空气阻尼和噪声问题 ( ) 分检测电容 C 和 C ,如图 1 b 所示. 为了实现电磁 1 2 对陀螺器件的性能具有重要影响. 空气阻尼越大 ,系 力驱动 ,在 z 方向还施加有匀强磁场B . 统的 Q 值越低 ,器件灵敏度也就越低. 为了提高陀 陀螺工作时, 两驱动质量块沿 x 方向反相振 螺的灵敏度 ,人们采用真空封装的方法来减小空气 动, 当沿 z 方向有角速度 Ω时 ,检测质量块在 Corio 阻尼[1 ] ,这种方法增加了陀螺封装的成本 ,不利于产 lis 力的作用下沿 y 方向振动. 此时差分检测电容 C1 业化. 陀螺中的热噪声决定了陀螺可能达到的最小 和 C2 由于极板交叠面积发生变化而改变 ( 图 1 分辨率 ,这方面的研究也已有相关报道[2 ] . (b) ) . 通过检测差分电容的