QK3玻璃基底上可见光区宽带增透膜研究.pdfVIP

第 ．3【卷第 1期 江 南 大 学 学报 (自然 科 学 版) Vo1．13 No．1 2014年2月 JournalofJiangnanUniversity(NaturalScienceEdition) Feb． 2014 QK3玻璃基底上可见光区宽带增透膜研究 阙立志， 李 帅， 朱华新 (江南大学 理学院，江苏 无锡 214122) 摘 要：以QK3为基底设计了一种宽带可见光区增透膜(增透波长0．4～0．8 m)，工艺实现采用 了电子束蒸发物理气相沉积的方法，薄膜材料仅含有TiO 和Si0，并分别作为高低折射率材料。利 用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量，结果表 明平均透过率达97．73％。 环境测试表明，薄膜具有 良好的稳定性和牢固度。该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中。 关键词：光学薄膜；电子束蒸发物理气相沉积；透过率 中图分类号：O484 文献标志码 ：A 文章编号：1671—7147(2014)01—0113一o4 StudyofW idebandAnti-ReflectionCoatingson QK3SubstrateontheVisibleLightSpectrum QUELizhi， LIShuai， ZHUHuaxin (SchoolofScience，JiangnanUniversity，Wuxi214122，China) ~ J- bstract：Atypeofwidebandanti—reflectioncoatingsisdesignedonQK3substrateonthevisiblelightspectrum (from ()．4Ixmto0．8 m)_Thecoatingsarefabricatedbyelectronbeamphysicalvapordeposition．Twotypesofcoating materialstitaniumoxide(TiO2)andsiliconoxide(SiO2)，whicharetreatedashighindexandlowindexmaterial，are usedinthisprocess．TheEdinburgh spectrometerisusedtomeasure thetransmittanceofthe samplecoating the anti—refectioncoatingsonbothside．Thetestresultindicatesthattheaveragetransmittanceisabout97．73％ ．The Neasurementofstabilityandfirmnessindicatesthatthecoatingshavegoodperformances． Keywords：opticalthinfilm ，EBPVD ，transmittance ：z0世纪30年代发现的增透膜促进了薄膜光学 大的比例，因此，应用最为广泛的可见区宽带增透 的早：朗发展，在所有光学薄膜中，增透膜对于推动 膜一直都是研究的热点 引。 技术光学发展起着重要作用 】引。增透膜的生产总 通常在可见波段增透膜的研究主要以冕牌玻 量至今仍超过其他所有类型的薄膜，因此，研究增 璃 (K9)作为设计基板，文中以轻冕玻璃(Qrd)为 透膜 的设计与制备有着重要的生产实践意义 J。 基板设计可见波段宽带增透膜 ，其折射率 (n= 增透膜可用于减少光学元件表面的剩余反射， 1．49)低于 K9玻璃 (n=1．52)，设计难度相对较 增加工作波段 内光线的透过率，减少光能的损失， 高，且膜层附着力相对较差 ，本研究通过合理调整 提高或像系统中像的质量、衬度等，从而提高系统