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平面顯示器檢測標準與量測不確定度探討.pdf

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平面顯示器檢測標準與量測不確定度探討 林增耀 田立芬 吳貴能 方承彥 簡育德 工研院量測技術發展中心 台灣 新竹 本文探讨平面顯示器TFT-LCD製程監測及面板影像品質相關之計量標準及不確定度分析。 TFT-LCD是台灣繼半導體產業後,另一兆元重點產業,然相關製程與成品品質相關檢測及追溯 系統並不完整。如Mura係影像色度與亮度不均匀的现象,不只定義不清,檢測方法不一,更 缺乏具追溯性之檢驗儀器。本研究探讨(1)面板製程的膜層尺寸檢測及光學特性檢驗,著重誤 差影響因子探讨及具溯源性 AOI檢測儀器開發;(2)面板關鍵参數標準溯源(traceability)及 計量標準的發展。如灰階應答時間、Mura缺陷標準、影像品質評價。本研究成果可提升面板品 質水準,經由量化評價系統,使高品質面板價值得以彰顯,也可以自勤化檢測儀器,改善现行 人工檢驗效率。 ~omer或Cauci 為反射光若標 }追溯 備測量斥 2]0本研 疋陪應答時間檩準追溯于 ,,勺—、r7117I 冀標 準接j 平面顯示器檢測標準與量測不確定度探討 作者: 林增耀, 田立芬, 吳貴能, 方承彥, 簡育德 作者单位: 工研院量測技術發展中心 台灣新竹 引用本文格式:林增耀.田立芬.吳貴能.方承彥.簡育德 平面顯示器檢測標準與量測不確定度探討[会议论文] 2009

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