偏压对钛薄膜显微组织及力学性能的影响.pdfVIP

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2017-08-20 发布于湖北
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Transactionsof NonferrousM etals 爱 Av鹞aialbleonSlniceaite1nn^n^c^，s．ecDeinceirdreiecctct．om SocietyofChina Press Trans．NonferrousMet．Soc．China24(2014)2870—2876 Effectofbiasvoltageonmicrostructureand nanomechanicalpropertiesofTifilms Ying．1ongLIU ，FangLIU ，QianWU ，Ai—yingCHEN ，XiangLI，DengPAN 1．SchoolofMechanicalEngineering，UniversityofShanghaiforScienceandTechnology,Shanghai200093，China； 2．SchoolofMaterialsScienceandEngineering，UniversiytofShanghaiofrScienceandTechnology， Shanghai200093，China Received26September2013；accepted3December2013 Abstract：InordertoinvestigatenanomechanicalpropertiesofnanostructuredTimetallicmateria1．pureTifilmswerepreparedby magnetronsputteringatthebiasvoltageof0-140VThemicrostructureofTifilmswascharacterizedbyX—raydiffraction(XRD)， scanningelectronmicroscopy(SEM)andhigh-resolutiontransmissionelecrtonmicroscopy(HRTEM)．Itisinterestingtofindthat themicrostructureofpureTifilmswascharacterizedby thecompositestructureofamorphous—likematrix embodied wiht nanocrystallines，andthecrystallizationwasimprovedwiththeincreaseofbiasvoltage．ThehardnessofTifilmsmeasuredby nanoindentationtestsshowsalinearrelationshipwiht grainsizesinhtescaleof6_15mn．However，thepureTifilmsexhibitasoft tendencycharacterizedbyasmallerslopeofHal卜Petchrelationship．Inaddition，theeffectofbiasvoltageonthegrowthorientation ofTifilmswasdiscussed． Keywords：Tifilm ；magnertonsputtering；biasvoltage；nanocrystalline；Hall_Petchrelationship transitionofTifilm rtiggedbynegativebiasvoltagewas 1Introduction alsoreportedinRef l『