平栅型双层膜阴极的脉冲电压处理及场致发射性能研究.pdfVIP

: 林金阳 等 平栅型双层膜阴极的脉冲电压处理及场致发射性能研究 １９０６１ 文章编号: ( ) １００１Ｇ９７３１２０１４１９Ｇ１９０６１Ｇ０３ 平栅型双层膜阴极的脉冲电压处理及场致发射性能研究∗ １ ２ ２ ２ , , , 林金阳 张永爱 杨尊先 郭太良 ( , ; , ) １．福建工程学院 信息学院 福州 ３５０１０８ ２．福州大学 光电显示技术研究所 福州 ３５０００２ : , , , 摘 要 采用脉冲电压法对平栅双层膜阴极进行处 极形貌图 图中 阴极的宽度约为 栅极的宽度 　 　 １００ m μ , . , , 理 进一步提高其场致发射性能 采用磁控溅射法在 约为４００ m 阴极和栅极之间的距离约为 ５０ m 该 μ μ , , 、 平行栅电极上溅射氧化铋薄膜和氧化锡薄膜 并对薄 金属电极材料主要为铬铜铬复合膜 具有导电性好 耐 [] ８ , , . 膜进行 AFM分析 通过场致发射测试结果表明 经过 氧化等优点 脉冲电压法处理后的平行栅双层膜阴极的发射性能, 、 , , 如亮度 均匀度等有了很大的提高 阳压为３０００V 栅 ２ , / . 压为１９０V 其腔体亮度可达４６２cdm 平行栅双层 膜阴极的脉冲电压处理可以有效改善阴极的场发射性 , 能 为改善 SED阴极结构及材料提供了一条有效的实 验方法. : ; ; ; 关键词 平行栅 场发射 氧化锡薄膜 氧化铋薄膜 　 中图分类号: 文献标识码: 　TB３３２ A : / DOI１０．３９６９ ．issn．１００１Ｇ９７３１．２０１４．１９．０１４ j 引 言 １　 　 表面传导电子发射显示器(surfaceＧconductioneＧ , )是一种具有自发光性能 lectronemitterdisla SED p y , , 、 的显示器 其基本原理与CRT相同 具有高对比度 高