Structural, optical and electrical properties of zinc oxide thin films deposited by a spray pyrolysis technique.pdfVIP

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2017-08-20 发布于湖北
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Structural, optical and electrical properties of zinc oxide thin films deposited by a spray pyrolysis technique.pdf

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Structural, optical and electrical properties of zinc oxide thin films deposited by a spray pyrolysis technique.pdf

Vo1．36，No．1 JournaIofSem iconductors January2015 Structural，opticalandelectricalpropertiesofzincoxidethin filmsdepositedbya spraypyrolysistechnique YacineAounI，-，BoubakerBenhaoua2，Brahim Gasmi，andSaidBenramache3,4,十 1MechanicalDepartmentFacultyofTechnology,UniversityofBiskra，Biskra07000，Algeria ， 2VTRSLaboratory InstituteofTechnology,UniversityofE1一Oued，E1一Oued39000，Algeria , 3LaboratoiredePhysiquedesCouchesMincesetApplication，UniversityofBiskra，Biskra07000，Algeria 4MaterialSciencesDepartmentFacultyofScience，UniversityofBiskra，Biskra07000，Algeria ， Abstract：Zincoxide(ZnO)thinfilmsweredepositedonglasssubstratesbyspraypyrolysistechniquedecom- positionofzincacetatedihydrateinanethano1solutionwith30mLofdepositionrate．theZnO thinfilmswere depositedattwodifierenttemperatures：300and350。C．Thesubstrateswereheatedusingthesolarcellsmethod． ThesubstratewasR217102glass，whosesizewas30 × 17．5 × 1mm3．Thefilm sexhibitahexagonalwurtzite structurewithastrong(002)preferredorientation．Thehighervalueofcrystallitesizeisattainedforsprayedfilms at350oC．whichisprobablyduetoanimprovementofthecrystallinityofthefilmsatthispoint．Theaverage transmittanceofobtainfilmsisabout90％一95％，asmeasuredbyaUV—visanalyzer．Thebandgapenergyvaries from 3．265to3．294eV forthedepositedZnOthinfilm at300and350oC，respectively．Theelectricalresistivity measuredofourfjlmsareintheorder0．36Q．cm． Keywords：ZnO；thinfilms；substratetemperature；spraypyrolysistechnique DoI：10．1088／1674—4926／36／1／013002