TCO玻璃用AZO靶材的研究.pdfVIP

国玻璃 TCO玻璃用AZO靶材的研究 TCO玻璃用AZO靶材的研究 王健 董彦峰 蚌埠玻璃工业设计研究院 安徽 蚌埠 233010 河北巨邦质检技术服务有限公司 河北 石家庄 050081 摘 要：采用碱析沸腾法制备AZO粉体，纯度达到了99．88％以上；真空热压成型烧结获得A— ZO靶材，相对密度都达到了理论密度的98％以上；磁控溅射方法制备ZAO薄膜，电阻率、栽流子浓 度、迁移率等电学性能优 良，可见光透过率在 85％以上，微观结构致密、均匀，晶体结构为 (002)择 优取向的纤锌矿 ZnO结构。 ‘ · 关键词：TCO玻璃；AZO薄膜；碱析沸腾法；真空热压烧结；磁控溅射 TheStudyonAZO TargetforTCO Glass WangJian Dong BengbuDesign ResearchInstituteforGlassIndustry。 Bengbu Anhui 233010 HebeiJubangQualityTestingTechnologyServiceCo．，Ltd Shijiazhuang Hebei 050081 Abstract：ForAZOpowderproducedbysoapgrainingbyalkalineboilingtechnology，itspurityishigherthan99．88％． ForAZOtargetproducedthroughvacuum hotpressformingandsintering，itsrelativedensityismorethan98％ oftheoretical density．ForAZOfilm bymagnetronsputteringmethod，itselectricpropertiesofelectricalresistivity，carrierconcentrationand mirgationratearegoodwithtransparencyrateofmorethan85％ ； themicrostructureiscompactand even；thecrystal structureisthe(002)preferredorientationwurtziteZnOstructure． Keywords：TCO glass，AZO film，Soapgrainingbyalkalineboilingtechnology，Vacuum hotpresssinteringtechnol- ogy，Magnetronsputtering 到衬底 内部，毒化衬底材料，尤其在液晶显示器件中 1前言 污染现象严重，这些缺点限制了ITO薄膜进一步的 推广应用。ZnO在氢等离子体环境下有很强的稳定 随着社会发展和科学技术的突飞猛进 ，人类对 性，而且常温下ZnO也 比In：0s、SnO：及 ITO的化学 功能材料的需求 日益迫切 ，新的功能材料已成为新 稳定性强，此外ZnO材料价格低廉，地球储量丰富 技术和新兴工业发展的关键。而随着半导体、计算 且无毒性，而 ZnO：A1(简称AZO)透明导 电薄膜具有 机、太阳能等产业的发展，一种新的功能材料——透 可与ITO薄膜相比拟的光电特性和低廉 的成本，并 明导电氧化物薄膜 (transparentconductingoxide，简 且在氢等离子体 中稳定性要优于 ITO薄膜 ，所 以， 称为TCO薄膜)随之产生、发展起来。TCO玻璃是指 AZO薄膜 目前己成为透明导电材料的研究热点之