浅谈公司近年来几个节能措施及技术改造项目.pdfVIP

综述与交流 馥弼 臣蒜 瞄 2013年 10月 浅谈公司近年来几个节能措施及技术改造项目 吴滨江 (福建福顺微 电子有限公司) 摘 要：面对市场竞争的日益白热化，为实施国家提出的“节能减排”和 “清洁生产”的要求，公司通过合理化的建议的 方式，在本部门内实施了空调系统控温控湿适当微调、CDA热回收和液氮汽化冷量的回收等措施，收到了较好的节能效 果。 · 关键词 ：含湿量 ；比热；热 ／冷回收 中图分类号：TU201 文献标识码：B 文章编号：1673—0038(2013)29—0220—02 引 言 (4)在满足工艺条件的情况下减少工艺外排的排风量和将温 福建福顺微电子有限公司是一家4～6英寸集成电路芯片制 升≤3~C普通排热型排风改为直接排至空调内循环系统中，以减 造高科技企业，生产芯片大量应用于视频、音频、消费类电子产 少总的新风处理量实现节约能耗。 品和计算机等领域。公司在生产领域重视实施可持续发展战略， 2液氮汽化系统冷量回收 而且在环境保护方面始终坚持 “源头控制、节能降耗、持续发展” 公司氮气系统采用的液氮+现场制氮方式，日用液氮 24t左 的理念。近年来，不断了围绕着节能、清洁生产，开展了许多卓有 右。公司原各工艺循环水系统 (PCW)换热方式为：板式换热器十 成效的节能措施及技术改造项 目。以下列举部分项 目供参考。 冷侧：7℃冷冻水+热侧：工艺循环水。根据液氮汽化吸热的原理， 1洁净厂房环境温湿度和新风量控制 将其中一个工艺循环冷却水系统 (约 20m3h／，闭式循环)通过系 某工艺车间某区域为全新风+室内内循环 (FUU+干盘管)系 统改造，将车间回来的25℃回水引至汽化器顶部，水通过汽化器 统，其温湿度控制标准为：温度22_+2℃，湿度45~10％。为了节约 翅片 (通过多个喷淋头均布喷淋的方式，实现了全热回收)，水温 能耗，拟将该区域的温、湿度中心控制点进行调整，既保证工艺 降至 20℃左右。即将原闭式系统改为开式循环，利用液氮汽化器 条件能满足要求，又实现了节能降耗的目的。 替代换热器，做到冷冻水的零消耗，实现能耗节约，具体分析计 (1)秋冬季相对气候含湿量低干燥时，湿度降5％设定控制 算表如表2。 表 2 (原22oC，45RH％，调整为22℃，50RH％)，可实现 日节约电量 项 目 数值 单位 备注 1039．44kW ·h，具体分析计算表如表 1。 液氮的潜热比 199 kJ／kg 表 1 液氮的沸点T。 77 K 项目 数值 单位 备注 氮气出口温度 298 K _273+ 空气密度 1．22 kg,／m3 p 氮气出口温度 25 ℃ 送风量 6O0oO．00 m3／h Q