润滑薄膜测量的双色光干涉强度调制技术.pdfVIP

第41卷第 10期 光电工程 Vo1．41．No．10 2014年 10月 Opto—ElectronicEngineering 0ct．2014 文章编号：1003—501X(2014)10—0088—07 润滑薄膜测量的双色光干涉强度调制技术 赵国垒 ，郭 峰 ，刘海超 ，洪政豪2 (1．青岛理工大学 机械工程学院，山东 青岛 266033； 2．台湾虎尾科技大学 动力工程系，台湾 云林 000632) 摘要 ：光干涉技术是润滑薄膜厚度测量最有效的方法之一。双色光干涉法在保证较大膜厚测量范围及高测量分辨 力的同时，避免了繁琐的干涉级次人工计数。传统的双色光干涉测量依赖于严格的静态标定和观测者。本文提出 使用双色光干涉强度调制技术对微纳米润滑薄膜进行测量。通过干涉图像中红、绿分量强度值的线性叠加得到调 制信号，根据信号特性分析得到特征位置膜厚，进而由干涉强度得到任一点膜厚。为验证所提出测量方法的正确， 对静态球．盘赫兹接触表面间隙进行了测量，与经典理论有很好的一致性。结果表明：选用合适的红绿双色光波长， 测量量程可达2gm。 关键词：双色光干涉；强度调制；润滑油膜；厚度测量 中图分类号 ：0439 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003—501X．2014．10．015 DichromaticInterferenceIntensityM odulationApproachfor ThinLubricatingFilm ThicknessM easurement ZHAO Guolei，GUO Feng，LIU Haichao ，HONG Jenghaur (1．SchoolofMechanicalEngineering，QingdaoTechnologicalUniversity，Qingdao266033，ShandongProvince，China； 2．DepartmentofPowerMechanicalEngineering，NationalFormosaUniversity， Yunlin000632，TaiwanProvince，China) Abstract： Opticalinterferometry isan effective way for lubricating film thicknessmeasurement．The dichromatic interferometrycanavoidartificialfringeordercounting，whileoperateswithafairresolutionandalargefilm thickn ess measurementrange．However,thetraditionaldichromaticinterferometrydependsonstrictcalibrationprocessesandthe observer．Inthispaper,adichromaticinterferenceintensity modulationapproachisproposedformicro／nanolubricating film thickn essmeasurement，wherebylinearsuperpositionoftheintensitiesoftheredandthegreencomponentsiscarried outandamodulatedsignalisobtainedtoinferthefilm thickn essatitslocalmaximum ／minimum．Thereafterthefilm