用质子弹散符合测量方法分析薄膜中氢分布的蒙特卡罗研究.pdfVIP

第34卷 第7期 核电子学与探测技术 V01．34 No．7 2014年 7月 NuclearElectronics＆DetectionTechnology July． 2014 用质子弹散符合测量方法分析薄膜中氢 分布的蒙特卡罗研究 杨江燕，郑涛，田继挺，刘旭 (北京大学物理学院核科学与核技术国家重点实验室，北京 100871) 摘要：本文从离子与物质相互作用的基本原理出发，用蒙特卡罗方法模拟了用质子弹性散射符合 分析方法分析表面含氢的几组不同厚度的金属薄膜样品的实验，详细介绍了模拟过程中影响深度分辨 率的多种因素，如束流能量、能损歧离、角度歧离等。本文基于2X1．7MV串列静电加速器可以提供的 质子束能量范围，通过模拟计算得到用能量为 1．5MeV的质子束分析厚度为 1—3微米的铝膜，深度分 辨可以达到0．2微米。本文还给出了内部含氢的多层铝膜的模拟结果，表明此方法可以很好地分析薄 膜 内部氢元素的深度分布。 关键词：质子弹性散射；符合分析；氢元素深度分布 中图分类号： O571．33，TL814 文献标志码：A 文章编号： 0258-0934(2014)07-0829-05 氢元素是 自然界最常见的元素之一，在金 需要在探测器前增加一个吸收片用来滤掉除质 属、半导体和绝缘体材料中都有分布。微量的 子以外的其他靶原子核，这样势必会造成质子 氢元素对材料的性质有很大影响 ¨J。因此，分 的能谱展宽，降低深度分辨率。质子弹性散射 析材料中氢含量和深度分布对材料性质的研究 分析方法 采用质子作为入射粒子轰击薄膜 具有重要意义。 样品，对质量较轻的元素，尤其是氢元素，非常 常用于分析氢元素的核分析方法有共振核 灵敏。但是这种方法实验本底较高，深度分辨 反应分析方法 、弹性反冲分析方法 以及质 率较差。 子弹性散射分析方法 等，它们各有优缺点。 为了提高氢元素分析的灵敏度和深度分辨 比如，共振核反应分析方法需要不断改变入射 率，Cohen等人基于已有的质子弹性散射分析 重离子束流的能量来逐点测量氢元素的深度， 方法，结合符合测量技术，提出了质子弹性散射 实验过程复杂。弹性反冲分析方法 中，由于 符合分析方法 j。本文详细地介绍了质子弹 从样品中出射的粒子除了质子之外还有其他靶 性散射符合分析方法的基本原理，并使用蒙特 原子核，所以在实验中，为了得到纯净的能谱， 卡罗方法模拟该方法分析含氢的金属薄膜样品 的实验，讨论了多种因素对深度分辨率的影响， 并对该方法在薄膜厚度测量方面的应用进行了 收稿 日期：2014—06—05 初步讨论。 基金项 目：国家 自然科学基金项 目 J1103206)。 1 方法介绍 作者简介：杨江燕(1988一)，女，甘肃天水人，硕士 ， 研究方向为实验核物理。通信作者：郑涛(1970～ 1．1 氢元素的深度掺杂分布 )，男，新疆石河子人，博士，副教授，研究方向为核物 图1为质子弹性散射符合分析方法的原理 理与核技术，E—mail：tzheng@pku．edu．cn。 示意图。设入射质子能量为E。，入射质子与靶