离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响.pdfVIP

第29 卷 增刊 真 空 科 学 与 技 术 学 报 2X( 刃年 5 月 CH N[ E 亚 J O班州AL Fo VACUUM CS IENCE AND ET CHNOH 犯Y 离 子 束 辅 助 沉 积 和 真 空 退 火 对 硫 化 锌 薄 膜 应 力 的 影 响 陈 点 - 罗崇泰 王 多书 刘宏开 王济洲 马 锋 ( 兰州物理研究所 表面工程技术 国家级重点实验室 兰州 73 仪众2 h! 门u e e e of Io B e a ll l As is 加旧c e De po s it i o a d Al 喇吨 o ts r 欣粥i Zs F址S 伪e Toa 资, 鲡 Cho jtga , W毗 uD os hu , il u Ho kg ia , W面g J迈hou , Ma Fe g 戊山如翻以肠 五功. of s 可滋 城 咖如 咭汪山司必u 加商吻 of P) i笋公, 乙叮翻铂u 73 0以l ) , C从朋 A加rt 匀d . 仆e Z S if l 阳we le grow 场 io 比0 . ass tis de , elce tro be 田xl ve 卿 以io o siil co 机血r sbu sti 习tes . 仆e 而c 恤 扭花s da 姗 , 山srt 山uti os of hte zs 石8拐~ ch踢 etrZie de wi ht X一卿 diiff 舰ti o (XRD) da c一 - ti o. 叭~ 抽面lca prlo 姗 . 仆e 吻 ca ts of io be ma as iss 切L ce da i- is ut a ela ig o ht e s切es s i hte Zs 五I 拐~ sut id de . 肠e res ul ts shwo ht ta hte io 饭知 as is s切叮ce a d a 仪山g stIO 叼y 超七et hte s加es s i Z S if has .rFo ex助Pa le , hte s加es s i Z S 五I 陷, g 旧脚 wi ht ou t io be a l ass ls加田ce , 51 comp 拐svie wi ht a vae 跷吧e s 呱 s of 公刃u t l ro . 6MP a ; 阴d hte io be ma as sis恤C e ic ~ hte co比Pl 溉svie s加es s 场 26 . 3M田a . Bies des , vca ~ ~ 目i g 戏妇uees hte va e跷唱e s切es s 饰 ae ryl 05 % .R 眺ht le ~ 玩川ims 灰司刃s iil le rof s姗 s 获月ueti o was la os te ta tlvely id cs us涨妇. 肠护 阳 油 乙6 面 if l 妈, Io be ma aSS i staC e d e 娜 tii o , V - ~ 姗 司 ig , S晚 ss 摘要 在硅基底上用电子束蒸发方法制备了硫化锌薄膜 通过 XRD 和薄膜应力测试仪研究了离子束辅助沉积和真空 退火对硫化锌薄膜应力 的影响规律 结果表 明,未采用离子辅助技术制备的硫化锌薄膜为压应力, 平均应力值为 101 .6 MI !, 当采用离子束辅助工艺时硫化锌薄膜 的压应力增加 了26 .3MPa 真空退火使硫化锌薄膜 的平均应力大约降低 了二分之一