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空气环境下退火温度对连续SiC自由膜结构与发光特性的影响.pdf
空气环境下退火温度对连续 SiC 自由膜结构与发光特性 的影响 241
空 气 环 境 下 退 火 温 度 对 连 续 SiC 自 由 膜 结 构 与
发 光 特 性 的 影 响
Influ en ce of Annealin g T emp er atur e on th e St ru cture and
Ph ot oluminescen ce Prop er t ies of Cont inu ous
Fr eest an din g SiC F ilms in A ir
姚荣迁1, 2, 3 , 冯祖德1, 2 ,
林宏毅1, 2 , 张冰洁1, 2 , 余煜玺1, 2
( 1 厦 门大学 福建省特种先进材料重点实验室,
福建 厦门 36 100 ; 2 厦 门大学 材料学院, 福建
厦 门 36100 ; 3 厦门大学 化学化工学院, 福建 厦门 36100 )
YA O Ron g- qian1, 2, 3 , F EN G Zu- de1, 2 ,
1, 2 1, 2 1, 2
LIN H on g- yi , ZH AN G Bin g- j ie , YU Yu- x i
( 1 F ujian Key Lab orat ory of Advanced M aterials, Xiamen
U niver sit y, Xiamen 36 100 , F ujian , Ch ina; 2 College of M at erials,
Xiam en U n iv er sit y, Xiamen 36100 , Fuj ian, Chin a; 3 College of Ch emist ry and
Chemical Engineering , Xiam en U n iv er sit y, Xiamen 36100 , Fuj ian , Chin a)
摘要: 采用熔融纺膜与先驱体转化法相结合制备 出连续 SiC 自由薄 膜, 研究薄膜 在 1300, 14 00 , 1 00e 温度下 空气退 火
处理的氧化行为, 以及退 火温 度对 薄膜 微观 结 构、光致 发 光特 性( P L) 、硬 度 和 电阻率 的影响。结果 表 明, SiC 薄 膜 在
1300e 具有较 佳的抗氧化和发光特性, 随着退火温度 的升高, 薄膜 的抗氧化和发 光特性略有降低,
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