无机氧化硅薄膜制备的原位诊断及薄膜特性研究.pdfVIP

真 空 科 学 与 技 术 学 报 第 四卷 增刊 C印N 晓E J OUNR AL ro VACU[ MJ 鱿 正洲EC AND 兀 O 州o ll X 万 21洲刃年 5 月 无 机 氧 化 硅 薄 膜 制 备 的 原 位 诊 断 及 薄 膜 特 性 研 究 张军峰 陈 强 - 刘福平 刘忠伟 ( 北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室 等离子体物理及材料研究室 北京 1工叹X) nI . Sito D妞卯051 51 na G功wht of 501 : Coa伪吧no PO ytl hy lene Terie hgl 血血te 跳叨9 Jur 血ng , Chen iQ nga . , 恤 Fupnig , 恤 乃叫岁阳i 肠加曲 理of 月抽ma 丹明如 口以肠* r众汤, 及如啥加汕吻 of 命甲胶 公抓助川该别初n , 及如呀, 120 叹刃, 日功犯 A饭由旧tC 仆e SxIO coa tln乎~ g 旧翎 场p朋lla el ca户沈iti ve co即il 嗯plas ma enh na e斑 ehe而c己v娜犯r e娜 itio n ta 23 kHZ na wi ht hemxa eht yli sil nxoa e ( HMDSO) na Oyc ge n as hte ~ na ~ tive g别获沼, 找污侧戈石vely , no bus - stla tes of 卯lyht ylene tere phht la ate ( PET) , ni na 狱即n bul 介r . 饭 gas 甲抽能 访tem阴i taes na ca vtie ra ic幽 we re ni - suti moni to re ni 耐 t加兄衍ht plaS nIa tPio lca ~ nio s, 沈廿众犯讨 ( 0璐 )na 恻 山切 le ~ s户沈rtDcs yPo ( Ms ) .hTe tos ic hi ometry na 叮罗n tn灯玛nn ss nio rtae ( o m ) of hte IS xO coa 恤甲 ~ chraaC terzi 曰 初山凡面re rt 臼拐of rm i浦翅e sp 沈h. scyPo ( 砰l ) . 仆e res ul ts show htta hte 田明罗n if wo rtae is 即正cna y 团锐ts hte c朋叩佣访no of 场ht plaS nIa na ht e c 叨 ng . 凡 r nis ntca e , as xO yg en n , Ia te ~ , ht e c on te n ts of hy 面双 叻no na 丽 es ni hte p l脚 坦 ~ , ni - i cati 嗯 山at hyr oc 创助n 找级cti ons na 丽 山tion o而朋te .At a hi hg oyx gen if wo rtae , 俪 卿 血 SIOx 61ms uo wte ihg ro- 脚 c co侧POnents .hTe 而- ~ 0 ,rR of hte coa 仙吧, 1.71 cc. m一2.ra 一..nlla 一-, was ob面以刃ta na op 山元ze la ti o , x 二05 % , of 印Wge n ni ht e lf wo na hte H MD os . 旋 野阳油 iS ox if lnlS , MaSS s侧沈加脱t砰, 伽ticla 丽 ~ 甲沈廿伽eryt , Fo面er 饥以而rm in 肠叨记s户沈rt unl , 卿 -