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132 全国特种气体第十七次年会论文集 2013年10月 浅述高纯气体中微量水的分析 叶相平 (佛山市华特气体有限公司，广东佛山528244) 摘要：叙述了化工生产中电容法分析六氟化硫、四氟化碳，压电晶体法分析超纯气体。光腔衰荡光谱法测定超 纯氨中的微量水含量的方法，通过在实验及工作中发现用这三种方法分析高纯气体的水含量可行，能满足产品 生产监测的需要。 关键词：微量水分析；电容法：压电法；光腔衰荡光谱法 Brief Introductionof Gas of TraceWater High-PurityAnalysis YE Xiangping (FoshanHuntcGas Co．，Ltd,Foshan，528244) Abstract：Describedthe ofsulfurhexafluorideand carbontetrafluoridewith of analysis method，analysis capacitance with methodfor tracewater ultra-puregases crystal，cavity thed椭ationof piezoelectric ring-downspectroscopy contentinthe ammoniainthe ofchemical．Itisfoundthesethree to the ultra-pure production methodsfeasible analyze watercontentofthe inthe and meetneedsofthe work,tothe higllpuritygas experiment productionmonitodng． words：traoc Key water,capacitancemethod；piezoelectricmethod；opticalcavityring-downspectroscopy 1 概述 随着高新技术产业的发展，高纯气体的需求量逐渐增加。高纯气体在大规模集成电路的研究和生产、 高纯金属的冶炼和处理、大阳能光伏产业等各领域都有着广泛的应用。高纯气体中的水分含量是影响气 体质量的重要指标，是影响用气产品的质量的重要因素之一。因此，需要严格控制高纯气的水分含量。 本文结合我司工艺生产的具体实际情况，简略论述电容法、压电法及光腔衰荡光谱法检测高纯气中水含 量原理及其在实际工作中的应用。 2采样及气路连接的要求 2．1采样前注意事项 高纯气体中微量水的分析对操作要求非常高，环境湿度、管线接头、采样阀及测量流量对测量结果 都有影响，所以一般在室温15,28C，湿度40％～70％的洁净环境下测定；选用死体积小的针阀或减压器， in的内壁内抛光的、尽可能短、管壁无吸附的不锈钢