三維火災風險分析技術應用於半導體潔淨室之研究.pdfVIP

中国 青岛 第二届CCPS 中国过程安全会议 三維火災風險分析技術應用於半導體潔淨室之研究 1 2 易逸波 黃奕豪 （1. 國立雲林科技大學環境與安全衛生工程系副教授；2. 國立雲林科技大學環境與安全衛生工程系博士生） 摘要：本研究設計了一套三維火災風險評估方法，利用FDS軟體來探討半導體無塵室人員受到火災危害 之影響，再利用自行開發之3D-FRAT軟體來評估上述人員之個人風險。研究中模擬了當無塵室發生異 丙醇燃燒時對廠房內人員所可能造成之影響，計算火災危害因子之最大物理量、致死機率及個人風險， 並利用繪圖軟體輸出動態影像、等曲面圖及切面圖來進行後果及風險分析。文中提出新的方法來計算熱 輻射劑量，並探討熱輻射劑量累積方式與無害下限之關係。結果發現在沒有任何防護措施的情況下，本 研究之無塵室火災的個別危害因子其個人風險值如下，熱輻射：2.74×10-7~1.68×10-5 （人/年）、CO ： 1.52×10-23~3.99×10-6 （人/年）、而濃煙介於2.74×10-7~1.68×10-5 （人/年）。 關鍵詞：三維火災風險分析技術；火災動態模擬器；熱輻射；無害下限；無塵室；風險評估 The Study of Three-Dimensional Fire Risk Analysis Technique and Its Application on a Semiconductor Cleanroom Abstract: The purpose of this research is to establish an integrated method that can assess risk of fire disaster within a three-dimensional space. The research employed Fire Dynamics Simulator (FDS) to explore the consequences of personnel injury under fire in a semiconductor cleanroom. Later, the three-dimensional fire risk analysis technique (3D-FRAT) software programmed by the C# language was used to assess the individual risk of the personnel within the cleanroom laboratory. This study designed and simulated an isopropanol (IPA) burning event within a chemical station. The research not only assessed the impact of hazard factors on the equipment and personnel of a semiconductor plant, but also calculated the maximum physical