压电式微定位机构与其控制系统的研究.pdfVIP

吉林省第四届科学技术学术年会 325 压电式微定位机构及其控制系统的研究 孙宝玉 (长春工业大学机电学院长春 130012) 摘 要：研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位机构，给出了机构的 动力学模型。结合检测装置和微机控制系统，设计并研制了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的 复合控制的微定位系统。实验表明，微定位系统定位行程可达1001_Lm，定位分辨力O．Ollxm。 关键词：微定位机构 压电陶瓷 柔性铰链数字PID控制 1 引言 压电陶瓷微位移器件是近年来发展起来的新型微位移器件，它具有体积小、出力大、分辨率高和频响 高的优点，并且不发热、无噪声、易于控制，是理想的微定位器件【1-21。柔性铰链是一种新型的弹性导轨形 式，依靠材料的微小弹性变形来传递位移，具有结构紧凑、无运动副间隙、无机械摩擦等优点，是微定位系 统中一种理想的导向机构。本文主要研究一种以压电陶瓷作为驱动器，柔性铰链作为导向机构的微定位 机构，实现精密、超精密加工中微进给误差的自动补偿。 2压电式微定位机构 2．1 机构设计 图1(a)为微定位机构结构简图，此机构采用压电陶瓷和柔性铰链组合式结构。以日本TOKIN公司生 产的AE0505D16型层叠式PZT(Piezoelectric Actuator)器件作为微定位机构的驱动器。外形尺寸为 且无负载的情况下，其位移输出为11．6斗m，而一般微操作都要求定位范围能达到1001xm以上，因而采用 柔性铰链机构对压电陶瓷输出的微位移进行放大和导向，以满足长行程精确定位的需要。柔性铰链的放 大机构原理及受力简图如图1(b)所示，它是依靠材料的微小弹性变形来传递位移的，文中设计的机构属 柔性铰链在导向过程中，输出的不仅是沿Y方向的位移，还有沿X方向的附加位移，这个附加位移必须消 除和抑制，以免影响机构Y方向的定位精度。图示对称式柔性铰链结构，输入的微位移同时通过左右两条 谤鞘 326 增强自主创新能力 促进吉林经济发展 运动链向工作台传递，在理论上便可完全消除x方向的附加位移。通过控制PZT器件的输入电压使其伸 长，推动柔性铰链放大器产生弹性变形，柔性铰链产生变形的同时伴随着变形抗力的产生，它阻止PzT器 件继续伸长。最大变形抗力为： k=Fl。+如。 实际设计时带人铰链的相关参数，便可求得‰的值，当‰远小于PzT器件最大可承受压力时，柔 性铰链放大机构方可正常工作。 2．2微位移机构动力学模型分析 由压电陶瓷构成的微定位机构可实现精密进给和工作台的定位精度自动补偿，此机构执行部件的物 理模型如图2所示，其动力学方程为： 眦”+c石’+2k。x=F r Fx=W=f删￡ (1) 其中，m是工作台的质量，k，是予紧弹簧的弹性系数，U和，是是加在压电陶瓷上的电量，C是阻尼系 数。 Ks F X 图2压电陶瓷微位移补偿机构物理模型 根据压电陶瓷的电位移特性，当驱动电压U大于某个值以后，位移与电压成正比，则 x=kU (2) ．．．风皓fu础 (3)