高精度紫外探测器定标测试方法.pdfVIP

208 2009年窄问环境与材料科学论坛 高精度紫外探测器定标测试方法 邵秀梅比，陈郁比，陈新禹1，2 (1．中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室，上海200083： 2．中国科学院红外成像材料和器件重点实验室，上海200083) 摘要：文章研究分析了紫外电定标探测器的主要的光电不等效因素，并用于建立了基于紫外电定标探测器 的紫外辐射定标系统。在此基础上，建立了紫外探测器定标测试平台，开展了紫外探测器的测试方法研究．响 应率定标的总不确定度为3％～5％，相对光谱测试的总不确定度达到3％． 关键词：紫外；探测器；定标；测试 l 引言 自20世纪90年代以来，宽禁带半导体材料、发光器件、紫外器件展现出重大应用价值和广阔的发 展前景，随着发光器件和紫外器件的发展与应用，一个关键的基础问题在于必须对紫外器件进行精确的 光学定标。为保证测量结果的定量化水平和可利用价值，对紫外辐射定标的精度提出了越来越高的要求。 辐射定标主要有两类标准：①基于光源的标准。常用的是黑体和同步辐射，红外波段的辐射标准通常采 用黑体，紫外波段的辐射标准常采用同步辐射光源。②基于探测器的标准。主要有自定标探测器和电替 substitution 升效应相同时，认为光功率与电功率等效【2】。电替代式定标的精度取决于电流和电压的精确测量，以及光、 电的等价效应。 电学定标辐射计是一种室温工作的ESR，采用热传感器作为接收器件，通过对电加热功率的测量实 现对光辐射功率的计量。早期的热探测器为热电堆，其响应慢，有效面积上的响应均匀性差，误差较大。 calibrated 电学定标热释电辐射计(electricallypyroelectric 作为热传感器的绝对辐射计，也是基于光辐射功率和电加热功率的等效，以电功率的测量来替代光辐射 功率。ECPR最先由美国NIST(当时为NBS)Robert ESR高，但其不涉及超低温、高真空、超导等先进技术，且具有室温工作、灵敏度高等优点。所以，美 国NIST[4，51、德国PTB[6】等国际权威计量实验室一直持续着这方面的研究工作。 对于紫外探测器的定标测试，目前国内相关的科研或生产单位大多采购日本Hamamatsu公司研制并标 定的硅器件作为传递工作标准，或采用低温辐射计对硅器件进行标准传递，将其作为工作标准，然后对 待测紫外探测器进行光谱定标或响应率定标测试。合肥国家同步辐射实验室光谱辐射标准与计量实验站 也开展了基于同步辐射光源的紫外辐射定标和紫外探测器定标的相关研究。 本文研究了一种基于紫外电学定标探测器的紫外辐射定标方法，这是建立在光电等效基础上的室温 工作的绝对定标方法，具有特殊结构的热释电探测器对紫外辐射和电加热都能响应，可将紫外辐射功率 的测量转换为电加热功率的测量，建立基于紫外电学定标热释电探测器的辐射定标系统。在此基础上， 建立高精度紫外探测器定标测试平台，开展紫外探测器的定标测试方法研究。 2紫外电学定标系统 2．1 紫外电学定标探测器 本文研究的紫外电学定标探测器是一种具有特殊结构的热释电探测器，其光敏元表面覆盖一层吸收 空查蔓量煎焦星萋!!堡型璺塞竖!!彗直垡 !塑 膜，既能吸收光辐射，叉能作为电加热电阻，光辐射加热利电JⅢ热都能使器件产生热释电信号，芯片结 研磨抛光后的厚度为80um。芯片采用悬空结构，将芯片的边缘部分咧定在支架上，光敏元悬窄，选吲双 砷』直插管壳封装，管壳材料为柯值，表而镀金．器件实蜘照片见圉2，光阑只、j为口8mm。 m#M^H =g《日 }Em口E r目女 }《E 隘E 图2电定标