基于四象限光电探测器的对准与测量系统优化设计——系统优化.pdfVIP

基于四象限光电探测器的对准与测量系统优化设计——系统优化.pdf

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第29卷第7期 仪 器仪表学报 VoL29No.7 Chinese ofScientificInsLmment 2008年7月 Journal Jul.2008 基于四象限光电探测器的对准与测量 系统优化设计——系统优化 汤晓君1,李玉军1’。,刘君华1,梁琨3 (1 西安交通大学电气工程学院西安710049; 2西安理工大学自动化与信息工程学院西安710048; 3西安理工大学计算机科学与工程学院西安710048) 摘要:在构建四象限光电探测器的测量/对准系统数学模型的基础上,提出了一种搜寻算法,以优化系统,使得对准模型具有 线性化的输入输出关系,且具有非常高的选择性。系统仿真结果表明,在四象限光电探测器光电转换系数为常数情况下,所提 出的模型优化方法正确可行。掩模板位置偏移量与光电探测器的输出具有线性关系,不论是在横向方向还是纵向方向,而且消 除了石、Y两个方向偏移量的交叉敏感,这使得消除四象限光电探测器安装位置偏差带来的影响成为可能,提高了探测器的应用 效率和测量/对准的准确度。模型的实测结果表明,经优化后的系统微位移检测误差与对准误差均小于2岬·。 关键词:四象限光电探测器;对准;线性化设计;优化 中图分类号:TB96文献标识码:A 国家标准学科分类代码:510.20 for andmeasurementbased Optimizationdesignalignment system on four-quadrantphoto-detector:systemoptimization Kun3 TangXiaojunl,LiYujunl”,LiuJunhual,Liang School (J ofElectricalEngineering,瓜’artJiaotongUniversity,施’an710049,China; 2School art art of Automation&InformationEngineering,XrUniversityofTechnology,xr710048,China; 3School Scienceand ofComputer Engineering,觑’artVnwersayofTechnology,瓜’art7/0048,China) thebasisofthemathematicmodelof withfour- Abstract:On micro-displacementmeasurement/alignmentsystem is to the the relation quadrantphoto-detector,asearchingalgorithmpresentedoptimizesystem,linearizeinput—output and the simulationwascarried improveselectivity.System out.Simulationresultsshowthatwhentransfo

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