基于四象限光电探测器的对准与测量系统优化设计——系统优化.pdfVIP

第29卷第7期 仪 器仪表学报 VoL29No．7 Chinese ofScientificInsLmment 2008年7月 Journal Jul．2008 基于四象限光电探测器的对准与测量 系统优化设计——系统优化 汤晓君1，李玉军1’。，刘君华1，梁琨3 (1 西安交通大学电气工程学院西安710049； 2西安理工大学自动化与信息工程学院西安710048； 3西安理工大学计算机科学与工程学院西安710048) 摘要：在构建四象限光电探测器的测量／对准系统数学模型的基础上，提出了一种搜寻算法，以优化系统，使得对准模型具有 线性化的输入输出关系，且具有非常高的选择性。系统仿真结果表明，在四象限光电探测器光电转换系数为常数情况下，所提 出的模型优化方法正确可行。掩模板位置偏移量与光电探测器的输出具有线性关系，不论是在横向方向还是纵向方向，而且消 除了石、Y两个方向偏移量的交叉敏感，这使得消除四象限光电探测器安装位置偏差带来的影响成为可能，提高了探测器的应用 效率和测量／对准的准确度。模型的实测结果表明，经优化后的系统微位移检测误差与对准误差均小于2岬·。 关键词：四象限光电探测器；对准；线性化设计；优化 中图分类号：TB96文献标识码：A 国家标准学科分类代码：510．20 for andmeasurementbased Optimizationdesignalignment system on four-quadrantphoto-detector：systemoptimization Kun3 TangXiaojunl，LiYujunl”，LiuJunhual，Liang School (J ofElectricalEngineering，瓜’artJiaotongUniversity，施’an710049，China； 2School art art of Automation＆InformationEngineering，XrUniversityofTechnology，xr710048，China； 3School Scienceand ofComputer Engineering，觑’artVnwersayofTechnology，瓜’art7／0048，China) thebasisofthemathematicmodelof withfour- Abstract：On micro-displacementmeasurement／alignmentsystem is to the the relation quadrantphoto-detector，asearchingalgorithmpresentedoptimizesystem，linearizeinput—output and the simulationwascarried improveselectivity．System out．Simulationresultsshowthatwhentransfo