离子注入掩埋双p-n结波长探测器的研究.pdfVIP

2003年10月 第十二届全国电子束、离子束、光子束学术会 北京 离子注入掩埋双p-n结波长探测器的研究木 张秀荣1、盛丽艳1、韩德俊1、张保州2 (1北京师范大学低能核物理研究所100875) (2北京师范大学天文系光电仪器厂) Double Junction)波长探测器的工作原理是根据不同波长的 摘要：掩埋双P。n结(BDJ：BuriedP．n 入射光在硅中的吸收长度不相同，在上下两个p-n结上有不同的光响应。一般是在加反向偏置的 情况下，直接测量上下两个p-n结的光电流，得到光电流比值与波长的关系。但由于信噪比低， 这种测量方法不利于对弱光的探测。本文的实验证明借助锁相放大技术，通过测量上下两p-n结 的光生电压，也可确定波长，而且这种方法更有利于弱光的探测。 关键词：BDJ波长探测器光伏模式锁相放大弱光探测 一、 引言 掩埋双p-n结BDJ波长探测器是一种色敏器件，它由上下两个背靠背的p-n结构成，在可见 光范围内，两p-n结的光电流之比与波长成良好的正比例关系¨。2。J，能用于单色光的探测。与传 统的波长探测系统相比，BDJ波长探测器不需借助其他光学系统，就可直接从被测单色光中提取 功率和波长信息：BDJ的结构简单，可以由标准的CMOS工艺设计制作，易于实现与其他电子线 路的集成，符合小尺寸、低功耗的现代光探测器的要求。基于这些特点，BDJ探测器已在很多方 面得以应用，如M．sedjil等利用BDJ探测器检测溶液中酸碱指示剂的浓度来确定海水的pH值”J， G．MLu则作了铁离子浓度的测量”J。 然而，文献中所提到的BDJ探测器都工作在光电导模式下，即在两P—n结上加反向偏压，输 出信号是电流。这种工作模式不适于对弱光信号的探测，因为，漏电流随反向偏压增大而增大， 导致输出的散粒噪声增大．降低了信噪比。因此，为了提高探测器对弱光探测的灵敏度，我们在 测量中运用BDJ探测器的光伏工作模式，即两P．n结上均无外加偏置，测量各P—n结的输出电压： 根据光生电压与光生电流之间的关系，得到了光生电流之比与波长的正比例关系；同时，借助锁 相放大技术可排除外界杂散光的影响，进一步提高了信噪比，这为以后的弱光探测应用做了准备。 二、 原理 当半导体受光辐照时，若光子能量大于或等于半导体的禁带宽度，则半导体吸收光子(不考 虑散射)产生电子-空穴对。波长为^的单色光入射到p-n结上，在加反向偏压的工作模式下，p-n 结收集的电流可分为两部分：光生电流和暗电流，即 I=ID+IL (1) 其中，ID和1L分别代表器件的暗电流和光生电流。暗电流ID与入射光无关，而光生电流可表示为 IL=‰承r九J (2) 其中，咖。是入射光通量，R(^)是p-n结的光谱响应度。因此，BDJ探测器上下两p-n结的光电 +本项研究工作受到“863”计划(课题编号：2002AA313120)的部分资助。 2003年10月 第十二届全国电子束、离子束、光子束学术会 北京 流之比为 r；IL2：垒璺!!墨2；—R2(—X)(3) I。。 巾。承。f九，R。f九J 可见，光电流比值r只与入射光的波长有关，而与光通量巾。无关；并且，理论模拟和实验均证明 ““。1，在可见光范围内，此光电流比值r随波长增大而增大。这就是BDJ波长探测器的工作原理。 由式(1)可以看出，在测量过程中，小的暗电流有利于弱光信号的探测。减小暗电流的关键 是减少器件体内的各种缺陷杂质，保持少子寿命。这可以通过原材料选取和优化工艺来实现。以 区熔单晶硅为衬底材料、借助外部吸杂工艺的器件具有小的暗电流，适于对弱光的探测“1。但即 使这样，当光通量很小时，光电流可能小于暗电流，而探测器的散粒噪声与暗电流的平方根成正 比，此时散粒噪声在输出中的比例增大，即信噪比降低，进而导致BDJ探测器的光电流比值r的 不准确性。 在光