金属粉末激光微成型系统的研究.pdfVIP

摘要 摘要 21世纪，科学技术的趋向之一是向微小方向发展，由毫米级、微米级继而 涉及纳米级。微米／纳米技术使人类在认识和改造自然方面进入一个新的层次， 使单位体积信息处理和运动控制的能力实现又一次飞跃。 微、纳米粉末激光微成型技术是激光快速成型技术在微领域的应用和发展。 该技术将选区激光烧结快速成型技术与纳米科学技术、激光技术、计算机控制技 术结合起来，应用分层制造思想，以更精细聚焦的激光熔烧微、纳米粉粉末直接 成形三维微结构。在微机械加工中，一个重要技术指标是分辨率，在快速成型微 ‘ 细加工中，把分辨率区分为扫描分辨率以及成型分辨率。成型分辨率是指成型的 最小单位，也称为光固化单元；扫描分辨率则指扫描机构移动的最小距离。 从成型工艺角度上讲，光固化单元就是单个激光脉冲固化固体金属粉末的体 积或者单道激光光束固化金属粉末所获得固化轨迹的单位体积。要想获得细小的 光固化单元，对于激光粉末快速微成形工艺而言，主要从下面两个方面入手： 1．使用光斑直径细小的激光器 2．选择粉末颗粒直径小的金属粉末作为激光粉末快速微成型固化材料 为了解决精细聚焦问题，我们采用Nd：YAG倍频的方法获得短波长激光器。 本文在激光烧结方法、短波长激光获得方法、短波长激光光束特性等方面进行了 研究和探讨。 本文根据非线性理论和光学谐振腔理论设计了在环形腔内对Nd：YAG激光进 行腔外倍频的实验装置，并用实验证明了该实验方案的可行性，获得了光——光 转换效率大约31．4％的0．532j朋的绿光输出。在激光倍频领域，实现了首次成功 利用环形腔方法对lkHz附近输出频率的1．064I删激光高转换效率倍频。从而为 采用倍频技术获得良好的激光微成型光源提供了实验依据。 从实验结果分析了环形腔倍频的特性，指出了该方法的优缺点。从光束质量 和聚焦光斑直径方面，对基频光和二次谐波进行了比较，本文提供了利用CCD测 得光斑的部分图片，并利用其对一些实验现象进行了比较。分析了环形腔倍频的 工作原理，解决了困扰倍频技术的转换效率问题和光束质量问题，为激光微加工 北京工业大学工学博士学位论文 提供可用性光源奠定了实验和理论基础。成功的应用了环形腔高转换效率的倍 频，比较完整地揭示了环形腔对Nd：YA6激光倍频的基本原理。 微、纳米粉末颗粒直径小，所以具有团聚严重、吸附性强、随气相介质流动 性强等特点。所以不能用传统的激光粉末快速成型送粉系统来输送，必须重新设 计送粉系统，所以为了解决微、纳米粉的稳定输出问题，本文从微、纳米粉末送 粉器以及送粉工作头几个方面进行研究和探讨。为了传送微、纳米粉末，本文介 绍了一种转刷式送粉器。文中借鉴风沙研究中的理论，排除了利用封闭式送粉头 定点送粉的可能性。通过实验对～种“钢笔尖”式微、纳米粉末送粉头进行研究， u 获得130 m的粉末输送线宽。利用此送粉系统输送超细微米羟基铁粉，使用小 功率Nd：YAG激光器和倍频激光器进行成型工艺试验，获得了较为满意的成型效 果。 针对微、纳米粉末的比表面积大的特点，本文利用氩气的密度大于空气平均 密度的特点，研制了一种利用网状结构缓冲保护气体、利用渐阔管，自上而下的 惰性气体保护装置。 pm 本文实验研究了激光粉末微成型的加工工艺，获得了最小壁厚约为130 的金属薄壁，实验发现，粉末最终成型的壁厚与送粉线宽相当；粉末最终成型的 u u 壁厚，在粉末粒径为2～3m、送粉线宽为130m附近时，与激光光斑几何尺 寸无关，同时与激光波长也无关；成型结果在45倍体视显微镜下观察，侧表面 有相对规律的沟壑；成型结果在电子显微镜下观察发现，边缘相对中间区域成型 效果更为致密，微熔颗粒集中于中间区域。 为了解释上述实验现象，本文利用广义米氏(Lorenz-Mie theory)散射理论 对粉末未熔情况下，激光在粉末中的传输进行分析，数学分析了粉末中光强分布， 解释了在