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2.圆光栅 圆光栅用于测量角位移。它是在玻璃圆盘的圆环端面上,制成黑白相间的条纹,条纹呈辐射状,相互间的夹角相等。圆光栅的检测原理与直线光栅检测原理相同,其输出的信号表示角位移。 3.直线透射光栅的工作原理 莫尔条纹形成原理 长光栅(标尺)和短光栅(指示)重叠在一起,中间保持 0.01~0.1mm 的间隙,并使两光栅的线纹相对转过一个很小的夹角θ。两光栅线纹夹角θ的平分线相垂直的方向上,会出现明暗交替、间隔相等的放大粗条纹,这就是“莫尔干涉条纹”。利用莫尔条纹功能,可以将光栅尺上的刻线间隔放大,便于检测。 莫尔条纹的间距 B, 若光栅的节距为 W,两光栅线纹的夹角为θ,则它们之间存在以下几何关系: 莫尔条纹具有如下特点: 起放大作用 ,大大提高了光栅的分辨率。 起均化误差作用,用莫尔条纹测 量长度时,决定其精度的不是一两条线纹,而是一组线纹的平均效应。 莫尔条纹与光栅栅距一一对应,光栅移动一个栅距 W 时,莫尔条纹也相应移动一莫尔条纹的间距 B,即光栅某一固定点的光强按明→暗→明规律交替变化一次。读出移动的莫尔条纹数目,就知道光栅移动了多少栅距,从而计算出运动部件的准确位移量。 4.光栅的辨向与信号处理 图示光栅用了4个光电池。每个光电池相距为四分之一光栅刻线间距(W/4),当标尺光栅移动时,莫尔条纹通过各个光电池的时间不一样,光电池的电讯号虽然波形一样但相位差1/4周期。 (1)正向运行脉冲 由Y1→Y4输出。此时,莫尔条纹按1→2→3→4顺序对光电池进行扫描。 Y1=AˊB,Y2=ADˊ,Y3=CˊD,Y4=BˊC; H1=Y1+Y2+Y3+Y4; 从而得到脉冲顺序为:Aˊ→Dˊ→Cˊ→Bˊ→Aˊ。 (2)反向运动脉冲 由Y5→Y8输出。此时,莫尔条纹按4→3→2→1顺序对光电池进行扫描。 Y5=BCˊ,Y6=ABˊ,Y7=AˊD,Y8=CDˊ; H2=Y5+Y6+Y7+Y8; 从而得到反向脉冲顺序为:Dˊ→Aˊ→Bˊ→Cˊ→Dˊ。 光栅检测系统的分辨率与栅距W和细分倍数n有关,即: 四、任务实施——光栅检测装置安装与调试 JENIX系列光栅数显装置为例介绍其安装与调试。JENIX光栅数显装置由光栅尺和数字显示器组成,光栅尺包括主尺与分度尺,主尺固定在导轨上,分度尺(即扫描头)安装在移动移动部件上。 图 JENIX光栅尺工作原理 1—红外线发射真空管 2—光源接收镜 3一光电晶体 JENIX型光栅尺输入输出波形 JENIX型光栅尺安装尺寸 光栅尺与扫描头安装结构图 型号 JSM JSS 分辨率 0.005 0.001 0.001 0.001 光栅节距 0.02 0.02 0.02 0.02 测定长度 0~2000 0~2000 0~2000 0~2000 输出波形 方波 方波、正弦波 方波 方波、 正弦波 测定方式 直流电源 +5V 表 JENIX光栅尺的技术参数 五.知识链接 磁栅检测装置 一定节距的磁化信号用记录磁头记录在磁性标尺上,并以此作为测量基准来测量位移,这种检测装置称为磁栅位置检测装置,简称磁栅。磁栅由磁性标尺、磁头和检测电路组成,按其结构可分为直线型磁栅和圆型磁栅,分别用于直线位移和角位移的测量。磁栅的检测行程可达100mm?到?2300mm?,检测精度可达±5?μm?/?m,分辨率达到0.5μm,?最大响应速度为?60m/min?。 带状、线状及圆形磁栅 1.磁性标尺 在不导磁的基体材料上面镀上一层10~3μm厚的高导磁性材料,形成均匀磁膜。再用录磁磁头在尺上记录相等节距的周期性磁化信号,用以作为测量基准,信号可为正弦波、方波等。节距通常为O.05mm、O.1mm、O.2mm、1mm等几种,最后在磁尺表面还要涂上一层1~2μm厚的保护层,以防磁头与磁尺频繁接触而引起的磁膜磨损。 磁性标尺与读取磁头 2.读取磁头 (1)速度响应型磁头 磁头输出的电压幅值取决于磁通变化率。这种磁头必须相对磁性标尺有位移时才有信号输出,因此不能用于静态检测。 读取磁头是磁电转换装置,其功能是将记录在磁性标尺上的磁化信号检测出来送到测量电路常用磁头有两种。 (2)磁通响应型磁头 磁通响应型磁头多了一组激磁线圈,当激磁电流 输入激磁线圈时,产生磁通Φ,当I的瞬时值增大到某一值时,磁头横臂铁芯材料饱合,磁阻很大,但断磁尺与磁头构成的磁路,当I变小时,磁阻变小,磁尺与磁头又构成磁路。这样即使磁头不移动,由于输出线圈电压为: 当 改变时,仍有感应电势输出,实现了静态的检测。 磁头上读取线圈的输出电压e为
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