微泵型超声波雾化器的研究.pdfVIP

五届全国振动利用工程学术会议暨 四次全国超声电机技术研讨会 The Fifth Conference on Vibration Utilizing Engineering in China The Fourth Workshop on Ultrasonic Motor Techniques in China （CVUEC WUMTC2012） 110 微泵型超声波雾化器研究 * 胡方军，蔡军，黄俊，张建辉 （南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室 南京 210016） 摘要：微泵型超声波雾化片是基于 MEMS 加工和逆压电效应高频驱动技术的一种高性能超声波雾化器， 具有结构简单、体积质量小、方便携带、雾化效果好等优点。首先，本文创新性的提出动锥角超声波雾化 原理，并在此基础上建立了雾化理论模型，为微泵型超声波雾化器的设计提供了理论指导； 次，本研究 对雾化基片进行了振动扫频试验，得到了多个共振工作频率，并展开了雾化效果实验；最后，讨论并总结 了动锥孔雾化器的设计和优化对雾化效果影响的几个关键因素，为微泵型超声波雾化器提供切实的实验指 导和设计指导。通过对微泵型超声波雾化器的理论与实验研究，为今后对该类型雾化器设计提供了指导依 据。 关键字：微泵 动锥孔 超声波雾化器 MEMS 逆压电效应 引言 利用压电元件的高频振动，使腔内的连续流体经 锥孔喷出实现雾化。因此，该类超声波雾化器也 作为微流体驱动的关键技术，喷嘴已成功应用于 可被称为泵型超声波雾化器。2009 台湾学者 喷墨打印、药物传输和加湿器， 中喷墨打印是 [3] Sheng Shih Shen和Yu-Jen Wang 研究的高功率 最成功的微机电系统 （MEMS）产品之一。 微雾化器，同样也是利用了锥孔雾化器雾化原理 [1~ 5] 国内外对电声转换型超声波雾化器 的研 设计而成。这种类型雾化器优点是雾化颗粒细小 究技术已经很成熟，但仍有很多技术问题没有得 均匀；缺点是雾化器工作频率高，雾化量小，锥 到很好的解决，如雾滴颗粒进一步的细化、均匀 孔加工难度大以及使用寿 短等。 化以及雾化器的使用寿 等。 综上所述，传统的电声转换型超声波雾化器 [6] 2008 江苏大学高建民、任宁 研发的低频 一般是通过变幅杆将压电元件的微小振动放大， 超声雾化喷头，就是利用变幅杆结构将压电的微 使得变幅杆端面产生一个激励超声波；而基于锥 小振动放大，在端面产生较大振幅的激励波，致 孔群结构的泵型超声波雾化器，它是利用压电元 使连续液体的雾化。2009 清华大学张冠等人[7、 件的高频振动，致使锥孔上下形成压差，使得腔 8]研