用于三维光学信息存储与微细加工研究的共焦激光扫描荧光显微镜.pdfVIP

电子显微学报 H ) -IJ1 ) KLM679 ) :J69(6 ) D(6 ) （） 年 % @**! N ** $$# ** ! 用于三维光学信息存储和微细加工研究的 共焦激光扫描荧光显微镜 ， ! ! ! ! ! ! ! 周拥军 ，唐火红 ，蒋中伟 ，黄文浩 ，夏安东 ，刘允萍 ，褚家如 （ 中国科学技术大学精密机械及精密仪器系，安徽 合肥 ； ! #$$% 中国科学院化学研究所分子反应动力学实验室，北京 !$$$$ ） 目前，利用双光子及共聚焦显微镜来进行三维 节。我们研制了工作台式扫描系统，扫描范围 光学高密度信息存储及三维光学微细加工正逐渐成 !# / 0 !# /，位移分辨率小于*1/。工作台 ! ! 为信息存储、微型电子器件和光子器件研究的重要 采用压电陶瓷驱动器（234 567857(9 ）驱动的方式来 方法。共焦光学系统具有三维分层扫描成像的能 获得高分辨率的位移，采用带柔性铰链的杠杆放大 力，能有效地避免邻层的干扰，并与-. 播放机有极 机构来获得较大的位移范围。 好的兼容性，因而成为重要的三维光学数据读出方 为了验证该共焦显微镜的效果，我们用$$1/、 法。本文介绍我们研制的一套适用于此研究方向的 、 的飞秒脉冲激光写入三维光学数据信 $:; $= 共焦激光扫描荧光显微镜。 息，用该共焦荧光显微镜能清楚地读出信息。样品 图 为我们设计的共焦荧光显微镜的光路。采 为 和二芳基乙烯类化合物分子（ ）溶解后 ! 2::? *$ @ ! 用无限光学系统，物镜到管镜之间为平行光，便于增 制备，由清华大学化学系提供。该化合物在飞秒激 加和更换附件。激光经过扩束、分色镜和物镜后会 光的激发下产生色变而具有不同的吸收光谱和荧光 聚到焦面上，位于焦面的样品由激光激发出荧光，荧 光谱。图 中 、、、分别为在四个不同层面上写 5 A 6 B 光经过物镜、分色镜和管镜后汇聚到共焦小孔中，通 入的字母CD4-，层间距 /，激发功率 !/E，曝光 ! 过共焦小孔的荧光由一个透镜收集后被光电倍增管 时间*$/。 接受。由于共焦小孔的存在，非焦面上的荧光被小 图 中给出了在该显微镜下经 、 、 # $$1/ $:; 孔阻挡而不被光电倍增管接受，从而实现了对样品 $= 的飞秒脉冲激光聚合加工的双联齿轮。所使用